في قاعة التصنيع، يكفي وجود فرق حراري قدره 0.5 درجة مئوية على سطح الرقاقة لكي يؤدي ذلك إلى اختلافات في عرض خطوط الرسم على الرقاقة، وبالتالي استهلاك كميات كبيرة من المواد. لذلك، تم تصميم هذه الplattform للحفاظ على الظروف الحرارية ضمن نطاق معين، وذلك من جولة إلى أخرى.
ما الذي يهم حقًا؟ نحافظ على توحيد درجة الحرارة على سطح الرقاقة بمقدار ±0.1 درجة مئوية، كما أن دقة التحكم في درجة الحرارة تظل ضمن نفس النطاق. الplattform مصممة لتعمل في بيئة نظيفة، وهي مناسبة للاستخدام في الغرف ذات النظافة العالية من الفئة 1 إلى 100، كما أنها لا تُنتج أي جسيمات ضارة أثناء التشغيل.
الأشعة تحت الحمراء قصيرة ومتوسطة الطول، بالإضافة إلى مناطق التسخين المعزولة بالكوارتز، تساعد في توفير استجابة حرارية سريعة وبدون اتصال مباشر. يمكن التحكم في الحرارة دون أن يتأثر سطح الرقاقة. تسمح خصائص التسخين المختلفة بالحفاظ على استقرار العملية من جولة إلى أخرى، كما أن النظام يستقر بسرعة، مما يقلل من وقت التشغيل واستهلاك الطاقة.
لماذا هو مفيد في عملية الطباعة الضوئية؟ في عملية الطباعة الضوئية، يعني هذا المستوى من الدقة تقليل عدد الرقاقات التي يجب إعادة معالجتها، وانخفاض كثافة العيوب، بالإضافة إلى الحفاظ على استقرار خصائص الرقاقة. التحكم الدقيق في درجة الحرارة يحسن أداء المواد الكيميائية المستخدمة في الطباعة الضوئية، كما أنه يقلل من تغيرات في خصائص الحواف، دون الحاجة إلى تعديلات كيميائية.
يقل استهلاك الطاقة لأن الplattform تصل إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة وتحافظ عليها دون أن تتجاوزها. تم تصميم الplattform لتعمل 24/7 مع أقل قدر ممكن من التوقفات غير المخطط لها. النتيجة هي زيادة الإنتاجية، وتقليل النفايات، بالإضافة إلى انخفاض تكلفة كل رقاقة.
ما الذي يجب التخطيط له مسبقًا؟ يحتاج الplattform إلى مصدر طاقة مخصص، بالإضافة إلى تدفق هواء نظيف وجاف للحفاظ على الاستقرار الحراري والالتزام بمعايير النظافة. تكون متطلبات التركيب صارمة، لذا يجب التخطيط لمساحة كافية مخصصة للplattform بحيث تتناسب مع واجهات الاتصال المخصصة لها.
من المتوقع أن يكون هناك وقت قصير للتشغيل الأولي، من أجل ضبط إعدادات التسخين بدقة وفقًا لخصائص المواد الكيميائية المستخدمة. بمجرد الضبط، تظل العملية مستقرة.