في عملية الطباعة باستخدام التقنية الضوئية، لا يكون لدى الرقاقات ذات الحجم 300 مم وقت كافٍ لكي تسخن في الفرن. يؤدي التسخين البطيء إلى تغيرات في عرض الخطوط، بينما يؤدي التسخين السريع إلى ظهور عيوب على سطح الرقاقة. أما التجفيف البطيء، فإنه يترك آثارًا من الماء، مما يؤثر سلبًا على جودة الرقاقة. لذلك، قمنا بتصميم جهاز التسخين بالأشعة تحت الحمراء على مستوى الرقاقة، حتى نتمكن من توفير حرارة سريعة ومنضبطة في المكان المناسب لعملية التصنيع.
ما يهم من الناحية التقنية: نستخدم أشعة تحت حمراء ذات ترددات منخفضة، مع استجابة سريعة وتحكم دقيق في الطيف الضوئي، بحيث تصل الطاقة إلى الرقاقة نفسها وليس إلى الأجهزة المحيطة بها. يتم الحفاظ على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن هناك خططًا للتسخين والتبريد بشكل متكرر في كل جلسة تصنيع.
تم تصميم الجهاز ليعمل في بيئات نظيفة من الفئة 1–100: مواد خالية من الغازات، نوافذ من الكوارتز المغلقة، بالإضافة إلى مسار لتدفق الهواء لا يسمح بدخول أي جسيمات إلى الجهاز. يتم التأكد من عدم وجود أي جسيمات من خلال الرصد المستمر أثناء عمليات الاختبار. يعمل الجهاز على مدار 24/7، مع فترات صيانة يمكن التخطيط لها، دون أي توقف غير متوقع.
لماذا يناسب هذا الجهاز العملية: في عملية تجفيف الرقاقات، يساعد جهاز التسخين بالأشعة تحت الحمراء في إزالة الماء من سطح الرقاقة دون إحداث صدمات حرارية، مما يقلل من وقت العملية ويحافظ على جودة الرقاقة. في عملية معالجة الرقاقات، يساعد هذا الجهاز في الحفاظ على توحيد درجة الحرارة، مما يؤدي إلى استقرار جودة الرقاقة.
في تقنية CSP على مستوى الرقاقة، يساعد جهاز التسخين في الحفاظ على استقرار عملية التصنيع وتقليل التشوهات في الرقاقة. يتمكن الجهاز من تحقيق إنتاجية أسرع، وتوزيع أفضل للحرارة، بالإضافة إلى تقليل النفايات، دون الحاجة إلى تعديل إعدادات الفرن باستمرار.
ما يجب التخطيط له: يحتاج الجهاز إلى مصدر طاقة نظيف وجاف، بالإضافة إلى سطح مستقر للتثبيت، حتى يتم الحفاظ على التوحيد في درجة الحرارة. الجهاز متوافق مع أجهزة التعامل مع الرقاقات القياسية، لكن يجب أخذ اختلافات الانبعاث الحراري بين الأفلام والركائز في الاعتبار. نقدم مصفوفة للمعايرة لكل وصفة تصنيع.
يجب التخطيط لفحص الجهاز بشكل دوري، والتأكد من استقرار درجة الحرارة. الدقة لا تأتي بالصدفة، بل يتم الحفاظ عليها عن طريق الصيانة المستمرة.