লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” শুধুমাত্র তাপীয় প্রক্রিয়া নয়; এগুলো আসলে মাত্রাগত নিয়ন্ত্রণের উপায়। ওয়েফারে ২°C এর পরিবর্তনই গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলোকে পরিবর্তন করে দেয়। আর হট জোনে উৎপন্ন একটি কণাই অনেক কিছু নষ্ট করে দিতে পারে। তাই আমরা এমন একটি ইনফ্রারেড হিটিং মডিউল তৈরি করেছি, যা গুরুত্বপূর্ণ জায়গাগুলোতে নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখে, আর কোনো ধরনের দূষণ ঘটে না।
এই মডিউলটিতে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহৃত হয়েছে; এগুলো ওয়েফারের জ্যামিতিক গঠন অনুযায়ী স্বাধীনভাবে নিয়ন্ত্রিত হয়। প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর ব্যাচ থেকে ব্যাচে তাপমাত্রার পরিবর্তন হয় ±0.2°C এর মধ্যে। হট জোনটি পরিষ্কার থাকে—কোয়ার্টজ ও রিফ্লেক্টর ব্যবহার করে কম গ্যাস নির্গমন নিশ্চিত করা হয়েছে; আর স্থিতিশীল অবস্থায় কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। ক্লাস 1–100 ধরনের ক্লিনরুমগুলোতে এটি স্থিতিশীল তাপমাত্রা বজায় রাখে; কণার সংখ্যাও বৃদ্ধি পায় না। ফটোরেসিস্ট বেকিং প্রক্রিয়াও আরও নিয়ন্ত্রিত হয়; আর ব্যাচের মধ্যে CD-এর পরিবর্তনও কমে যায়।
এর ফলে প্রক্রিয়াটি আরও কার্যকর হয়। “সফ্ট বেক”的 ফলে ওয়েফারের পৃষ্ঠের অবস্থা উন্নত হয়; আর “হার্ড বেক”-এর ফলে ওয়েফারের আঠালো অবস্থা বজায় থাকে, ফলে অপ্রয়োজনীয় কাজ কমে যায়। এই মডিউলটি শক্তি সাশ্রয় করে; কারণ এটা পুরো চেম্বারকে অকার্যকর অবস্থায় রাখে না। আর মডিউলগুলো দ্রুত প্রতিস্থাপন করা যায়; ফলে অপ্রত্যাশিত বন্ধের সময় কমে যায়।
ইনস্টলেশনের জন্য মেশিনের ইন্টারফেস ও এক্সহস্ট কাপলিং ব্যবহৃত হয়। মডিউলটিকে ক্যারিয়ার পাথের সাথে সামঞ্জস্য করতে হয়; আর নির্দিষ্ট ফ্লো বজায় রাখতে হয়, যাতে হট জোনটি আলাদা থাকে। এটি স্ট্যান্ডার্ড সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; কিন্তু কমিশনিংয়ের সময় ওয়্যারিং ও কন্ট্রোল সিস্টেমগুলো ঠিক আছে কিনা তা নিশ্চিত করতে হয়, যাতে এটি আপনার MES ও PM রুটিনগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ থাকে।