
Přestaňte plýtvat energií při procesu zpracování waférů
Buďme upřímní: v továrně na výrobu polovodičů znamená plýtvání energií v podstatě jen plýtvání penězi.
Většina běžných infračervených lamp je poměrně neefektivní. Vyzařují energii do všech směrů – to znamená, že polovina energie jde špatným směrem, což způsobuje zahřívání vzduchu nebo rámu stroje místo samotného výrobku.
To můžeme vyřešit pomocí trochy zlata. Ne kvůli vzhledu, ale kvůli fyzice. Když umístíme vrstvu vysokokvalitního zlata na povrch křemíkového obalu, v podstatě donutíme veškerou tu infračervenou energii, aby se pohybovala dopředu.
Jak to vlastně funguje
Zlato je skvělé pro práci s infračerveným zářením – odráží více než 98 % těchto vlnových délek. Představte si to jako zrcadlo. Když se rozsvítí wolframový vlákno, vrstva zlata zachytí teplo, které by jinak odešlo zpět, a odráží ho přímo na wafér.
Nejlepší na tom je, že dostanete více tepla na substrát, aniž byste museli zvyšovat náklady na elektřinu. Používáte prostě to, co už máte, ale efektivněji.
Nevýhody (protože nic není magické)
Díky tomu můžete rychleji dosáhnout požadovaných teplot. Kratší cykly, více waférů za stejný čas.
Ale je tu jeden problém: když soustředíte veškerou tu energii do úzkého paprsku, okraje waféru budou také ohřívány. Pokud není správně nastaveno chlazení, objeví se „horká místa“ na waférech.
Musíte se ujistit, že váš chlazicí systém dokáže zvládnout toto přesměrování tepla. Vrstva zlata musí být perfektně rovnoměrná – jinak budete mít na waférech pruhy, což je opravdu problém.
Jak to integrovat do vaší továrny
Vytvořili jsme je tak, aby se jednoduše nahradily vašimi stávajícími infračervenými topeny. Nemusíte přehodnotovat celou svou konfiguraci.
Jakmile je tam máte, máte na výběr. Můžete snížit napětí, abyste prodloužili životnost lamp, nebo ponechat napětí stejné a pouze zkrátit dobu zpracování.
Je to jednoduchý způsob, jak získat více výsledků z každého wattu.