V oblasti litografie nejsou procesy měkkého a tvrdého zahřívání pouze termickými kroky – jedná se o klíčové faktory ovlivňující rozměry polovodičových desek. Změna teploty o 2 °C na povrchu desky může ovlivnit její kritické rozměry. Jediná částice vzniklá v horké zóně může zničit velkou část desky. Proto jsme vyvinuli modul pro infračervené zahřívání s rozdělením na jednotlivé zóny – takto lze udržet požadovanou teplotu tam, kde je to důležité, bez rizika kontaminace.
Modul využívá emitory krátkovlnného infračerveného záření, které jsou rozloženy do samostatně ovládaných zón odpovídajících geometrii desky. Na celém povrchu desky je teplotní jednotnost na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost teploty mezi jednotlivými seriami je ±0,2 °C. Horká zóna zůstává čistá – používají se kvartové materiály a odrazivé prvky, které minimalizují uvolňování plynů. Navíc tento design zaručuje nulovou produkci částic během stabilního provozu. V čistých prostorách třídy 1–100 se tak dosahuje stabilních teplotních podmínek bez nárůstu počtu částic. Díky tomu se zlepšuje kvalita fotorezistentů a snižují se odchylky rozměrů desek mezi jednotlivými seriami.
Díky tomuto řešení máte větší prostor pro optimizaci procesů. Opakovatelnost měkkého zahřívání zlepšuje kvalitu povrchu desky. Konzistence tvrdého zahřívání zase zvyšuje adhezi materiálů a selektivitu během procesu leptání, čímž se snižuje množství odpadu a potřeba oprav. Díky rozdělení na zóny se také snižuje spotřeba energie – není totěž potřeba celou komoru neustále zahřívat. Modulární konstrukce navíc umožňuje rychlou výměnu modulů během preventivní údržby, čímž se eliminuje neplánovaný výpadek výroby.
Instalace spočívá v připojení modulu k rozhraní stroje a systému odvodů vzduchu. Je potřeba modul zarovnat s cestou nošení desek a poté zajistit správný průtok vzduchu, aby byla horká zóna izolovaná. Modul se hodí do standardních zařízení na výrobu polovodičů – je však nutné před spuštěním ověřit zapojení a kontrolní funkce, aby odpovídal vašim systémům MES a PM.