Hören Sie auf, Energie im Prozess der Waferherstellung zu verschwenden!
Seien wir ehrlich: In einer Fertigungsstätte bedeutet es im Grunde, Geld zum Fenster hinauszuwerfen.
Die meisten Standard-IR-Lampen sind ziemlich ineffizient. Sie strahlen Energie in alle Richtungen ab – das bedeutet, die Hälfte der Energie geht in die falsche Richtung und erwärmt stattdessen die Luft oder den Maschinenrahmen, anstatt das Produkt selbst.
Wir lösen dieses Problem mit etwas Gold. Nicht wegen des Aussehens, sondern aufgrund der physikalischen Eigenschaften von Gold. Indem wir eine Schicht aus hochreinem Gold auf die Rückseite der Quarzkapsel legen, zwingen wir die gesamte Infrarotenergie dazu, in die richtige Richtung zu gelangen.
Wie es tatsächlich funktioniert
Gold ist bei Infrarotstrahlung wirklich hervorragend – es reflektiert über 98% dieser Wellenlängen. Stellen Sie sich das wie einen Spiegel vor. Wenn der Wolframfaden aktiv wird, fängt die Goldschicht die Hitze auf, die sonst nach hinten gegangen wäre, und leitet sie direkt auf das Wafer.
Das Beste daran: Man erhält mehr Wärme am Substrat, ohne dass die Stromkosten steigen. Man nutzt einfach das, was bereits vorhanden ist – nur intelligenter.
Die Nachteile (denn nichts ist perfekt)
Damit kann man die gewünschten Temperaturen viel schneller erreichen. Dadurch werden die Bearbeitungszeiten verkürzt. Doch wenn man all diese Energie in einen schmalen Strahl konzentriert, werden auch die Ränder des Wafers beeinflusst. Wenn die Energieverteilung nicht richtig ist, entstehen Hotspots.
Man muss sicherstellen, dass das Kühlsystem mit der zusätzlichen Wärme umgehen kann. Zudem muss die Goldschicht perfekt gleichmäßig sein – sonst entstehen Muster auf dem Wafer, was natürlich problematisch ist.
Einbau in die Fertigungsstätte
Wir haben diese Elemente so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz für die aktuellen IR-Heizer verwendet werden können. Es ist nicht notwendig, die gesamte Anlage neu zu gestalten.
Sobald sie eingebaut sind, hat man die Wahl: Entweder senkt man die Betriebsspannung, damit die Lampen länger halten, oder man lässt die Spannung unverändert und verkürzt einfach die Bearbeitungszeiten.
Es handelt sich dabei um eine einfache Möglichkeit, mehr Leistung aus jedem Watt herauszuholen.