Manteniendo la limpieza: Calefacción en salas limpias de clase 100
En las fábricas de semiconductores, incluso una sola partícula de polvo puede ser un verdadero problema; en realidad, representa una amenaza para los wafer. Si se necesita calefacción en un ambiente de clase 100, no basta con utilizar un elemento calefactor estándar y esperar lo mejor. Es necesario utilizar equipos que no suelten polvo ni emitan humo.
Por eso, utilizamos lámparas IR de cuarzo de alta pureza y cables aislados con teflón. Es la única forma de evitar que los gases y partículas dañen el producto final.
El uso del cuarzo de alta pureza
Utilizamos cuarzo sintético en estas lámparas por una razón sencilla: no se deteriora cuando las temperaturas cambian drásticamente. ¿Vidrio común? Con el tiempo se romperá o comenzará a soltar partículas de sílice. Eso no es bueno.
Estas lámparas IR utilizan radiación de onda corta para calentar directamente el material deseado. Como el calor llega justo donde se necesita, no es necesario calentar todo el aire circundante. Esto significa menos contaminantes en el área de producción. Es más limpio y sencillo.
Por qué insistimos en el uso de teflón (PTFE)
Los revestimientos de PVC o silicona son un verdadero problema en las salas limpias. Cuando se calientan, comienzan a liberar compuestos orgánicos volátiles. Eso no es aceptable.
Utilizamos cables revestidos con teflón porque el PTFE es prácticamente inerte. No se degrada ni emite humo, incluso cuando las temperaturas son muy altas. Esto evita que se formen depósitos de carbono y vapores químicos en el espacio estéril.
Haciendo que todo funcione bien
Tratamos de mantener estos sistemas lo más compactos posible, para que la fuente de calor esté lo más cerca posible del sustrato. Pero hay un problema: la calefacción por IR de alta densidad genera puntos calientes localizados.
Es necesario diseñar bien los sistemas de refrigeración. Si el disipador de calor es demasiado pequeño para la potencia de la lámpara, el calor se acumulará en el chasis. En ese caso, la precisión de alineación se verá afectada, y tendrá que pasar fines de semana enteros recalibrando todo.
Un último consejo: utilice conectores chapados en oro o de níquel de alta calidad. Esto evita la oxidación en los puntos de contacto. Sin sorpresas, solo conexiones eléctricas seguras que duran miles de horas.