در سالن لیتوگرافی، هیچگاه نمیتوانید از نوسان دما صرفنظر کنید. تغییر 0.3°C در طی فرآیند پخت فتورزیست کافی است تا یک دور کامل از ویفرهای 300 mm را خراب کند. شما نیاز دارید حرارتی دقیقاً در جایی که کارت فرآیند تعیین کرده است اعمال شود—شیفت به شیفت، دسته به دسته.
آنچه زیر کاپوت اهمیت دارد
ما از یک لامپ تابشکننده نزدیک مادونقرمز (NIR) استفاده میکنیم که با ترکیب خروجی طیفی دقیق و هندسه بازتابنده مهندسی شده (نه حدسی) یکنواختی زیر میلیمتری ارائه میدهد. نقشه میدان حرارتی بهصورت تمیز روی ویفر قرار میگیرد و افت حرارتی لبهای به حداقل میرسد، بنابراین در محدوده بودجه حرارتی دقیق باقی میمانید. پاسخدهی در بازه میلیثانیه است که از ورود افزایش ناخواسته دما جلوگیری میکند.
تکرارپذیری براساس دسته اندازهگیری میشود: با رسیدن به همان نقطه تنظیم، پروفیل لایه یکسان دریافت میکنید، دسته به دسته. لامپ بهصورت راحت در اتاقهای تمیز کلاس 1–100 قرار میگیرد بدون تولید ذرات و عمر طولانی آن بازههای تعمیر و نگهداری را قابل پیشبینی میکند—بدون زمان توقف ناگهانی.
چرا این سیستم در فرآیند کاربرد دارد
در فرآیندهای پخت فتورزیست، لامپ NIR پخت نرم و پخت سخت را سریع، یکنواخت و تکرارشونده تثبیت میکند. این به معنای ابعاد بحرانی ثابت، کاهش دوباره کاری و بازدهی پایدار است. چگالی انرژی به حدی بالاست که زمان پخت را کاهش داده بدون اینکه دمای اوج را افزایش دهد، بنابراین مصرف انرژی را کاهش داده و از ساختار زیرین محافظت میکند.
برای تمیزکاری و خشککردن ویفر، این دقت همان فشارهای حرارتی را کاهش میدهد. شمار نقصها کاهش مییابد و مشخصات نقص در محدوده کنترل باقی میماند.
جزئیات عملی
NIR گرما را در خط دید منتقل میکند، بنابراین فاصله و زاویه نصب باید با هندسه محفظه تطابق داشته باشد. انتظار یک گرمسازی کوتاه برای رسیدن به پایداری نقطه تنظیم را داشته باشید و بازههای کالیبراسیون را برنامهریزی کنید تا پروفیل یکنواختی در محدوده مورد نظر باقی بماند. پیش از تایید یک دسته، سازگاری با رابط تجهیزات و استراتژی کنترل خود را تأیید کنید.