حفظ ایمنی هنگام استفاده از لамپهای گرمایشی مادون قرمز در نزدیکی مواد شیمیایی فرار
هنگامی که با تمیزکاری نیمههادیها سروکار دارید، اغلب لامپهای گرمایشی مادون قرمز را درست در میان محفظههایی قرار میدهید که پر از بخارات قابل اشتعال یا منفجره هستند. این وضعیت بسیار خطرناک است؛ حتی یک جرقه کوچک یا اشکالی در عایقبندی، میتواند منجر به فاجعه شود.
به همین دلیل، ما فقط به توان لامپها توجه نمیکنیم؛ بلکه به مسئله عایقبندی نیز توجه زیادی میکنیم.
راز، در عایقبندی است.
ما از روش عایقبندی دولایه برای جلوگیری از تماس تمام اجزای الکتریکی با مواد شیمیایی استفاده میکنیم. مشکل اصلی، جایی است که سیمهای برق وارد پوشش کوارتز میشوند. برای حل این مشکل، از عایقهای شیشهای-فلزی و موادی استفاده میکنیم که بتوانند در برابر گرمای بالا مقاومت کنند و با مواد شیمیایی واکنش نشوند.
خیلی ساده است: اگر بخارات خورنده وارد مدار الکتریکی شوند، باعث ایجاد مدار کوتاه میشوند. عایقهای ما، گازهای هالوژنی را در داخل لامپ نگه میدارند و مواد شیمیایی مضر را در بیرون نگه میدارند.
مقابله با استرس شیمیایی
اگر مواد مورد استفاده، نتوانند در برابر شرایط محیطی مقاومت کنند، سریعاً تخریب خواهند شد.
ما از کوارتز با خلوص بالا و روکشهای ویژه استفاده میکنیم تا لامپها دچار مشکلاتی مانند مه شدن یا خراشیده شدن توسط مواد تمیزکننده نشوند. مشکل اینجاست که وقتی سطح کوارتز دچار خراش شود، گرما به طور یکنواخت توزیع نمیشود؛ در نتیجه، نقاط گرمی روی ویفر ایجاد میشود، که این امر اصلاً مطلوب نیست. ما روکشهایی را انتخاب میکنیم که باعث توزیع یکنواخت گرما در سراسر سطح ویفر شوند.
معایب (چون هیچ چیز رایگان نیست)
این تغییرات ایمنی، باعث میشود لامپها کمی بزرگتر شوند. عایقبندی نیز باعث میشود طول لامپها افزایش یابد؛ بنابراین ممکن است نیاز باشد فاصله بین قطعات لامپها را تغییر دهید تا لامپها در جای خود قرار بگیرند.
همچنین، این روکشهای محافظ، مقداری از تابش مادون قرمز را مسدود میکنند؛ بنابراین ممکن است نیاز باشد توان لامپها را افزایش دهید یا زمان تماس ویفر با گرما را طولانیتر کنید تا به دمای مطلوب برسید.
و در نهایت، حتماً از کابلهای مقاوم در برابر انفجار برای سیمکشی استفاده کنید؛ این کار، ایمنی لامپها را تضمین میکند.