Assurer la sécurité lors de l’utilisation de chauffage par infrarouges à proximité de produits chimiques volatils
Lors du nettoyage humide des semi-conducteurs, on place souvent des lampes à chaleur infrarouge au cœur de chambres remplies de vapeurs inflammables ou explosives. C’est une situation très risquée : une petite étincelle ou un défaut dans l’isolation peut entraîner un désastre complet.
C’est pourquoi nous ne nous concentrons pas seulement sur la puissance des lampes. Nous accordons aussi beaucoup d’importance à l’encapsulation de celles-ci.
Le secret réside dans le scellement.
Nous utilisons une méthode de scellage à double couche pour empêcher les bornes électriques de entrer en contact avec les produits chimiques. Le problème principal se situe toujours là où les câbles d’alimentation pénètrent dans l’enveloppe en quartz. Pour y remédier, nous utilisons des joints hermétiques entre le verre et le métal, ainsi que des composés spéciaux capables de résister à haute température sans réagir aux produits chimiques.
C’est assez simple : si ces vapeurs corrosives parviennent à atteindre les circuits électriques, cela provoque un court-circuit. Nos systèmes de scellage empêchent donc les gaz halogènes de pénétrer à l’intérieur de la lampe, tout en maintenant les produits chimiques à l’extérieur.
Lutter contre les effets des produits chimiques
Si vos matériaux ne peuvent pas résister à cet environnement, ils se dégraderont rapidement. Nous utilisons donc du quartz de haute pureté, recouvert de couches spéciales, afin que les lampes ne s’embuent pas ni ne soient endommagées par les agents de nettoyage. Problème : dès que la surface du quartz commence à présenter des fissures, la chaleur n’est plus distribuée de manière uniforme. Cela entraîne des points chauds sur la pâte semiconductrice, ce qui est absolument à éviter. Nous choisissons donc des revêtements qui permettent une distribution homogène de la chaleur sur toute la surface de la pâte semiconductrice.
Les compromis nécessaires (car rien n’est gratuit)
Ces mesures de sécurité rendent les lampes un peu plus volumineuses. L’encapsulation ajoute également de la longueur au système, ce qui peut nécessiter des ajustements dans l’agencement des éléments constitutifs du système de chauffage. De plus, ces revêtements protégeants limitent légèrement l’émission d’infrarouges par rapport à une lampe sans revêtement. Il faudra probablement augmenter la puissance de la lampe ou prolonger le temps d’exposition des puces à cette chaleur pour atteindre la température souhaitée.
Enfin, assurez-vous d’utiliser des conducteurs résistants aux explosions pour les câblages. C’est ainsi que l’on assure pleinement la sécurité.