שמירה על ניקיון: חימום בחדרים נקיים מסוג Class 100
במפעלי שבבים, כל חלקיק אבק קטן הוא לא רק מטרד – הוא עלול להרוס את השבבים. אם נדרש חימום בסביבה מסוג Class 100, אי אפשר פשוט להשתמש ברכיבי חימום רגילים ולקוות לטוב. יש צורך ברכיבים שלא יפלטו עשן או חלקיקים.
לכן אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום מקוורץ ברמת טוהר גבוהה, וכן בחוטים ממוגנים בטפלון. זו הדרך היחידה למנוע פליטת גזים וחלקיקים שעלולים לפגוע באיכות השבבים.
היתרונות של קוורץ ברמת טוהר גבוהה
אנו משתמשים בקוורץ סינתטי בנורות אלו מסיבה פשוטה: הוא לא מגיב בצורה שלילית כאשר הטמפרטורה משתנה. זכוכית רגילה, לעומת זאת, עלולה להישבר או לפלוט חלקיקי סיליקה. זה לא טוב.
נורות אינפרא-אדום אלו משתמשות בקרינה בגלי אורך קצר כדי לחמם את החומר המיועד. מכיוון שהחום מגיע ישירות למקום הנכון, אין צורך לחמם את האוויר שמסביב. כך יש פחות חלקיקים באוויר, והסביבה נשארת נקייה.
למה אנו מעדיפים טפלון (PTFE)
מעטפות PVC או סיליקון רגילות הן בעיה בחדרים נקיים – כאשר הן מתחממות, הן מפליטות חומרים מזהמים. אנו משתמשים בחוטים ממוגנים בטפלון, מכיוון ש-PTFE הוא חומר אינרטי. הוא לא מתפרק ולא מפליט עשן, גם כאשר הטמפרטורה גבוהה. כך נמנעים הצטברות של פחמן ואדי כימיקלים בחדר הנקי.
כיצד להפעיל את המערכות האלו
אנו מנסים להשאיר את המערכות האלו קומפקטיות ככל האפשר, כך שמקור החום יהיה קרוב לחומר המיועד לחימום. אך יש בעיה: חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום יוצר נקודות חום עזות. יש לוודא שמערכות הקירור יעבדו כראוי. אם מערכת הקירור אינה מספיק חזקה, החום יגיע לחלקים האחרים של המערכת. כך ההתאמות הדרושות יהיו מורכבות יותר.
טיפ נוסף: יש להשתמש בחיבורים מצופים בזהב או בניקל איכותי. זה מונע חמצון בנקודות החיבור. אין עוד בעיות, רק חיבור חשמלי יציב שיחזיק מעמד לאלפי שעות.