מחמם אינפרא אדום ליישום חומרי ציפוי

בחדרי הליתוגרפיה, לא ניתן להתחמק משינויי הטמפרטורה. אפילו שינוי קטן בטמפרטורת האפייה עלול לגרום לשגיאות בממדים של הוובר. קו הציפוי והפיתוח לא עוצר את...