300 मिमी लाइन पर, अप्रत्याशित रुकावटें एवं कण ही सबसे बड़ी समस्याएँ हैं। वर्षों से कन्वेक्शन ओवनों का ही उपयोग सुखाने एवं बेक करने हेतु किया जा रहा है; लेकिन इनकी गति धीमी होती है, एवं वायुप्रवाह के कारण कण उत्पन्न हो जाते हैं, जिससे उत्पादन की गुणवत्ता प्रभावित होती है। जब प्रक्रिया को सेकंड एवं डिग्री में मापा जाता है, तो इन्फ्रारेड तकनीक एक बेहतर विकल्प साबित होती है – यह तेज, सीधा एवं स्वच्छ तरीके से काम करती है।
तकनीकी दृष्टि से, महत्वपूर्ण बात है “ऊष्मा का मार्ग”। इन्फ्रारेड तकनीक में, शॉर्ट-वेव/मीडियम-वेव एमिटरों का उपयोग करके वेफर की सतह पर सीधे ऊष्मा पहुँचाई जाती है। इससे वेफर पर ±0.1°C की समानता बनी रहती है, एवं दरवाजा खोलने के बाद भी उत्पादन प्रक्रिया तुरंत ही शुरू हो जाती है। क्लीनरूम क्लास 1–100 भी संभव है, क्योंकि यहाँ कोई रीसर्कुलेटिंग फैन नहीं होता, एवं ऑप्टिकल पथ भी बंद रहते हैं; इससे कणों का उत्पादन लगभग शून्य हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ऊर्जा वेफर में ही जाती है, न कि चैंबर की दीवारों एवं हवा में।
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, चक्र-समय एवं दोष-नियंत्रण ही महत्वपूर्ण हैं। इन्फ्रारेड मॉड्यूलों का उपयोग स्पिन ट्रैक एवं स्टैंड-अलोन बेक स्टेशनों में किया जाता है; इससे बेकिंग/सुखाने की प्रक्रिया तेज हो जाती है, एवं फोटोरेसिस्ट को कोई नुकसान नहीं पहुँचता। इससे क्रिटिकल डायमेंशनों पर बेहतर नियंत्रण होता है, दोषों की संख्या कम हो जाती है, एवं विभिन्न बैचों में उत्पादन प्रक्रिया स्थिर रहती है।
यदि आप बड़े पैमाने पर उत्पादन कर रहे हैं, तो इन्फ्रारेड तकनीक विश्वसनीय साबित होती है – इसके उपयोग से उपकरण 5,000+ घंटे तक काम कर सकते हैं, एवं उत्पादन में 5% से भी कम की गिरावट होती है। यह तो पारंपरिक कन्वेक्शन तकनीक का ही एक बेहतर विकल्प है… यह अंतरराष्ट्रीय मानकों के अनुरूप है, एवं वास्तविक उत्पादन प्रक्रियाओं में भी इसका उपयोग किया जा रहा है।
ध्यान रखने योग्य बात यह है कि इन्फ्रारेड तकनीक पतली परतों एवं फोटोरेसिस्ट के लिए उपयुक्त है… लेकिन आपको सब्सट्रेटों पर एमिसिविटी एवं रिफ्लेक्टिविटी को नियंत्रित करना होगा। इसके लिए एमिटर स्पेक्ट्रम को फिल्म-स्टैक के अनुरूप अनुकूलित करना होगा, एवं तापमान-संवेदकों को वेफर के अनुरूप ही कैलिब्रेट करना होगा। इसका कार्यान्वयन आसान है… लेकिन नए थर्मल प्रोफाइलों को तैयार करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है।