स्वच्छता बनाए रखना: क्लास 100 क्लीनरूमों में हीटिंग
सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, थोड़ी सी भी धूल बहुत ही खतरनाक होती है… क्योंकि यह वेफरों के लिए घातक साबित हो सकती है। यदि क्लास 100 वाले वातावरण में ऊष्मा आवश्यक है, तो सामान्य हीटिंग उपकरणों का उपयोग करना उचित नहीं है। ऐसे उपकरणों की आवश्यकता है जो धूल या धुआँ न उत्पन्न करें।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज IR लैंपों एवं टेफ्लॉन-इन्सुलेटेड वायरिंग का उपयोग करते हैं। यही एकमात्र तरीका है जिससे गैसें एवं कणों के कारण होने वाले नुकसान से बचा जा सकता है।
उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग
हम इन लैंपों में सिंथेटिक क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि तापमान में परिवर्तन होने पर भी यह खराब नहीं होता। सामान्य काँच तो धीरे-धीरे टूट जाता है, या इससे सिलिका कण निकलने लगते हैं… यह ठीक नहीं है।
ये IR लैंप शॉर्टवेव विकिरण का उपयोग करके सीधे लक्ष्य सामग्री पर ऊष्मा पहुँचाते हैं… इससे आसपास की हवा भी गर्म नहीं होती। इससे उत्पादन क्षेत्र में हवा में मौजूद कणों की मात्रा कम हो जाती है… यह अधिक स्वच्छ एवं सरल है।
टेफ्लॉन (PTFE) का उपयोग
सामान्य PVC या सिलिकॉन वाले केबल, क्लीनरूम में बहुत ही समस्याएँ पैदा करते हैं… क्योंकि गर्म होने पर ये VOC गैसें उत्पन्न करते हैं… ऐसा बिल्कुल भी नहीं होना चाहिए।
हम टेफ्लॉन-कोटेड वायरिंग का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि PTFE बिल्कुल भी अपघटित नहीं होता, और गर्म होने पर भी धुआँ नहीं उत्पन्न करता… इससे कार्बन जमाव एवं रासायनिक वाष्पें भी नहीं आतीं।
सब कुछ सही ढंग से काम करे…
हम इन सिस्टमों को यथासंभव संकीर्ण रखने की कोशिश करते हैं… ताकि हीट सोर्स सब्सट्रेट के निकट ही रहे। लेकिन यहाँ एक समस्या है… उच्च-घनत्व वाले IR हीटिंग उपकरणों से कुछ क्षेत्रों में अत्यधिक गर्मी पैदा हो जाती है।
इसलिए कूलिंग सिस्टम को ठीक से व्यवस्थित करना आवश्यक है… यदि हीट सिंक लैंप की ऊर्जा के लिए पर्याप्त न हो, तो गर्मी सीधे चेसिस में ही जम जाएगी… ऐसी स्थिति में सटीकता खराब हो जाएगी, एवं आपको हर बार सब कुछ पुनः समायोजित करना होगा।
एक और सलाह: सोने से लेपित या उच्च-गुणवत्ता वाले निकल के कनेक्टरों का ही उपयोग करें… ऐसा करने से संपर्क बिंदुओं पर ऑक्सीकरण नहीं होता… कोई समस्या नहीं… बस एक स्वच्छ विद्युत संयोजन, जो हजारों घंटों तक काम करता है।