Nella fase di litografia, le operazioni di “soft bake” e “hard bake” non rappresentano semplicemente step termici: si tratta invece di passaggi fondamentali per garantire la precisione dimensionale dei componenti prodotti. Una variazione di temperatura di 2°C sul wafer può influenzare negativamente le dimensioni critiche dei componenti stessi; inoltre, una singola particella generata nella zona calda può danneggiare l’intero prodotto. Per questo motivo abbiamo progettato un modulo di riscaldamento a infrarossi a zone distinte, in modo da mantenere la temperatura esattamente dove è necessaria, senza causare alcuna contaminazione.
Il modulo utilizza emettitori a infrarossi a onde corte, disposti in zone controllate in modo indipendente, in base alla geometria del wafer. Sulla superficie del wafer, la uniformità termica raggiunge valori di ±0,1°C, mentre la ripetibilità della temperatura tra lotto e lotto è di ±0,2°C. La zona calda rimane pulita: vengono utilizzati materiali come il quarzo e i riflettori, che riducono al minimo l’emissione di gas. Inoltre, il design stesso previene la formazione di particelle durante il funzionamento regolare del dispositivo. Negli ambienti puliti di classe 1–100, il modulo garantisce profili di riscaldamento stabili, senza aumentare il numero di particelle presenti nell’ambiente. Ciò permette di migliorare la qualità del prodotto, riducendo le perdite legate ai difetti di produzione.
L’approccio a zone distinte permette inoltre di ridurre il consumo energetico, evitando il riscaldamento inutilizzato dell’intera camera. L’architettura modulare consente inoltre di sostituire rapidamente i moduli durante la manutenzione preventiva, riducendo così i tempi di fermo imprevisti.
L’installazione richiede soltanto l’allineamento del modulo rispetto al percorso di trasporto del wafer, nonché il funzionamento corretto dei sistemi di ventilazione per mantenere isolata la zona calda. Il modulo è compatibile con gli standard degli impianti semiconduttori, ma è necessario verificare i collegamenti elettrici e i meccanismi di controllo durante la messa in servizio, in modo che il modulo funzioni correttamente all’interno dei sistemi MES e PM presenti nell’impianto.