코팅기 개발용 적외선 히터

리소그래피 공정에서는 온도 변동을 피할 수 없습니다. 아주 미세한 온도 차이라도 웨이퍼 전체에 걸쳐 치수 오차로 나타납니다. 코팅 및 현상 공정은 오븐이 온도를 맞추는 동안에도 계속 진행됩니다. 만약 히터가 설정된 온도를 안정적으로 유지할 수 없다면, 포토레지스트의...