Stop met het verspillen van warmte: waarom gouden reflectoren echt belangrijk zijn voor uw wafers
Laten we eerlijk zijn: wanneer u wafers droogt of fotoresisten hardmaakt, is elke verspilde watt gewoon geld dat verloren gaat. De meeste bedrijven gebruiken standaard aluminiumreflectoren, maar het probleem is dat deze een groot deel van de infrarode energie opnemen. Dat is een lek in uw systeem.
Daar komt de gouden coating om de hoek kijken.
De simpele wetenschap erachter
Goud kan infraroodlicht beter verwerken dan aluminium of roestvrij staal. Door een dunne laag goud op de reflector te plaatsen, zeggen we eigenlijk tegen die fotonen: “Ga niet verloren in het chassis van de machine – ga terug naar de wafer.”
Hierdoor wordt de verspreide warmte omgezet in een gerichte straal. U krijgt dus veel meer effect op het doelwit, zonder dat u de spanning hoeft te verhogen en uw apparatuur onder druk te zetten.
Het juiste controleren
U kunt niet zomaar goud gebruiken en vervolgens een schakelaar omzetten. Een eenvoudige aan/uit-schakeling zal alleen maar problemen veroorzaken.
U hebt een digitale controller nodig om de stroomsterkte goed te kunnen regelen. Waarom? Omdat als u te veel hitte te snel op de wafer toevoegt, dit tot thermische schokken kan leiden. We combineren deze controllers met lampen met hoge dichtheid, zodat de hitte gelijkmatig over het hele oppervlak wordt verdeeld. Als de controller en de lamp niet goed met elkaar communiceren tijdens dit proces, ontstaan er hete plekken. En niemand wil dat.
De waarheid over de werkvloer
Kijk, goud is geen wonderoplossing voor alles. Het is duur. U betaalt een hoge prijs voor dit materiaal, en het is ook nog eens gevoelig voor slijtage.
Als uw proces corrosieve gassen of veel stof en deeltjes omvat, zal de coating beschadigen. U moet ervoor zorgen dat de reflectoren schoon blijven, zodat ze nog steeds goed blijven werken.
En hier is nog een belangrijk punt: omdat goud energie zo efficiënt focusseert, moeten uw koelfans in staat zijn om de hitte goed af te voeren. Als u de omringende hitte niet uit het chassis haalt, kunnen uw elektronische onderdelen beschadigen, terwijl de wafer nog steeds koud is.
Het geheim ligt in het gebruik van een precisie-PID-regeling. Dat is de sleutel om elke watt optimaal te benutten.