Hoe houd je je wafers schoon? De waarheid over IR-verwarmers
Bij het maken van waterstofsensooren spelen deze infrarode (IR)-lampen een cruciale rol. Maar als je met een productielijn werkt die veel energie verbruikt, bestaat er een nachtmerriescenario dat we allemaal vrezen.
Het gaat niet alleen om lampen die kapotgaan; soms barst zelfs de kwartsbuis. Als dat gebeurt, is het een ramp. Er vallen dan glasdeeltjes en tungstenfilamenten op je wafers terecht. Eén kleine barst is al genoeg om alles te vernietigen.
De hitte is hier de vijand.
Om onze productiesnelheid te behouden, zetten we deze lampen onder extreme druk. Hierdoor ontstaat er een groot temperatuurverschil tussen het filament en het glas. Het glas breidt zich ongelijkmatig uit, waardoor er microbarsten ontstaan. Eén kleine barst is al genoeg om alles te vernietigen.
Dus hebben we dit opgelost. We hebben een beschermend omhulsel rondom de IR-emitter geplaatst. Denk er maar aan als een soort veiligheidsbeschermer. Als de binnenste lamp kapotgaat, vangt het omhulsel alles op. Je wafers blijven dan onbeschadigd.
We gebruiken hoogzuiver synthetisch kwarts voor deze omhullingen, zodat het IR-licht nog steeds door kan gaan, zonder dat er vervuilende metalen de schone ruimte binnendringen. We gebruiken ook speciale bevestigingsmogelijkheden, zodat de lamp ruimte heeft om zich uit te breiden, zonder dat het chassis hem beperkt.
Er is echter één nadeel: het extra kwartslaagje zorgt ervoor dat er iets minder energie wordt uitgestraald. Je krijgt geen 100% van de energie terug. Je zult waarschijnlijk je instellingen moeten aanpassen of de wafers wat langer in de warmte moeten blijven om de gewenste temperatuur te bereiken.
Maar eerlijk gezegd? Dat is een prijs die het waard is. Het is veel beter dan te kijken naar een bak vol besmette wafers.
Een laatste tip: gebruik deze lampen in combinatie met een precies PID-controlesysteem. Als je voorkomt dat de temperatuur te hoog wordt, zullen de lampen veel langer meegaan. Je hoeft ze dan ook minder vaak te vervangen.