W procesie litografii kroki „miękkiego” i „twardego” wytapiania nie są jedynie czynnościami termicznymi – to raczej elementy decydujące o wymiarach elementów płytki. Nawet niewielka różnica temperatury na poziomie 2°C może wpłynąć na kluczowe wymiary elementów płytki. Jedna sama cząsteczka powstała w strefie wysokiej temperatury może zniszczyć całą płytkę. Dlatego stworzyliśmy moduł grzewczy oparty na promieniowaniu podczerwonym, który utrzymuje odpowiednią temperaturę w kluczowych obszarach, bez powstawania dodatkowych zanieczyszczeń.
Moduł ten wykorzystuje emitory podczerwonego światła krótkiej fali, rozmieszczone w niezależnie sterowanych strefach, dostosowanych do geometrii płytki. Na całej powierzchni płytki zachowywana jest jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C, a powtarzalność temperatury wynosi ±0,2°C pomiędzy poszczególnymi seriami produktów. Strefa wysokiej temperatury pozostaje czysta – użyto kwarcu i reflektorów, które minimalizują emisję gazów. Taka konstrukcja zapewnia brak powstawania cząsteczek podczas normalnej pracy. W salach o czystości klasy 1–100 uzyskuje się stabilne parametry procesu, bez wzrostu liczby cząsteczek. Czas potrzebny na wytapianie fotopolimerów skraca się, a odchylenia w размерach elementów płytki zmniejszają się.
Dzięki temu uzyskujemy większą elastyczność w procesie produkcji. Powtarzalność procesu „miękkiego” wytapiania poprawia jakość powierzchni elementów płytki. Spójność procesu „twardego” wytapiania zwiększa przyczepność i selektywność procesu etchingu, dzięki czemu zmniejsza się ilość odpadków i konieczności przeróbek. Takie rozwiązanie pomaga również ograniczyć zużycie energii, unikając nagrzewania całej komory. Architektura modułowa umożliwia szybką wymianę modułów podczas konserwacji, co zapobiega niet planowanym przerwom w produkcji.
Instalacja polega na dopasowaniu modułu do interfejsu maszyny oraz złączy wentylacyjnych. Należy dostosować moduł do ścieżki transportu płytek, a następnie utrzymać odpowiedni przepływ powietrza, aby strefa wysokiej temperatury pozostała izolowana. Moduł nadaje się do standardowego wyposażenia w branży poliw elektronicznych, ale przed uruchomieniem należy sprawdzić połączenia i procedury sterowania, aby pasowały do systemów zarządzania produkcją i konserwacją.