Как правильно регулировать температуру в камере класса 100
При нагревании веществ внутри камеры класса 100 важен не сама мощность нагревателя. Настоящая проблема заключается в микроскопических частицах и химических газах, которые невозможно увидеть.
Стандартные нагревательные элементы имеют недостаток: они начинают откалываться или выделять вредные вещества при нагревании. Это серьезная проблема в чистых помещениях. Чтобы этого избежать, мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца.
Сохранение чистоты
Мы используем кварц с высоким содержанием кремния. Почему? Потому что он не покрывается пылью и не разрушается при постоянном нагревании и охлаждении.
Многие нагреватели используют дешевый стеклянный или металлический корпус. Они окисляются и разрушаются со временем. Если один из таких осколков попадет на полупроводниковую пластину или нарушит вакуумную герметичность, весь производственный процесс будет сорван.
Мы также химически очищаем кварцевые трубки, чтобы устранить поверхностные ионы. Это помогает сохранять чистоту внутри камеры.
Температура и вакуум
Преимущество инфракрасных ламп заключается в том, что тепло достигает цели напрямую. Это не приводит к нагреву воздуха внутри камеры, что способствует поддержанию стабильности условий. К тому же эти лампы быстро нагреваются. Чем меньше времени нужно на нагрев, тем меньше шансов на возникновение ошибок.
Но есть один недостаток: необходимо контролировать плотность мощности нагревателя. Лампы с высокой мощностью отлично подходят для быстрого нагрева, но они создают большую нагрузку на систему охлаждения. Если теплообменник не справляется с объемом тепла, внутреннее давление может повыситься. Нужно находить баланс.
Установка и нюансы
Мы используем стандартные соединители, поэтому лампы можно заменять без особых усилий. Не нужно разбирать контрольную коробку и переправлять все провода каждый раз, когда лампа выходит из строя. Кроме того, размеры ламп минимальны, поэтому они легко помещаются в тесные контейнеры камеры.
Но есть один недостаток: высокочистый кварц слаб и хрупок. Один неверный жест во время установки может привести к раздроблению трубки. В таком случае придется очищать всю камеру перед тем, как можно будет снова начать производство.
Серьезно: используйте перчатки без ворсинок. Всегда.