На линиях производства с диаметром пластин 300 мм основными проблемами являются неплановые перерывы в работе оборудования и наличие частиц в воздухе. На протяжении многих лет для сушки и обработки пластин использовались конвекционные печи. Однако у них медленная скорость нагрева, возникают отклонения в температуре, а поток воздуха может поднимать частицы, что влияет на качество готовой продукции. Когда время выполнения процесса измеряется в секундах и градусах, инфракрасное излучение позволяет достичь более эффективного контроля температуры – быстрого, точного и эффективного.
С технической точки зрения важен путь распространения тепла. Инфракрасное излучение воздействует непосредственно на поверхность пластины, используя коротковолновые или средневолновые излучатели, что позволяет достигать быстрого и контролируемого нагрева. Это обеспечивает равномерность температуры по всей поверхности пластины с точностью до ±0,1°C. Также возможен контроль процесса нагрева в режиме «мягкого» и «жесткого» нагрева, а время восстановления после открытия дверцы составляет менее секунды. Условия класса чистоты 1–100 можно достичь благодаря отсутствию вентиляторов и герметичности оптических каналов, что снижает количество частиц в воздухе до минимума. Также снижается потребление энергии, поскольку она направляется на саму пластину, а не на стенки камеры и воздух.
В литографических установках ключевыми параметрами являются время выполнения процесса и контроль дефектов. Инфракрасные модули можно использовать в устройствах для вращения пластин и в отдельных станциях для нагрева, что позволяет сократить время нагрева и сушки без повреждения фотополимера. Это способствует более точному контролю размеров изделий, снижению количества дефектов и стабильности процесса при производстве больших объемов продукции.
Если производство осуществляется в больших объемах, надежность оборудования остается высокой: устройства могут работать более 5 000 часов с уровнем снижения качества продукции менее 5%, что позволяет осуществлять круглосуточную работу. Это проверенная альтернатива традиционным конвекционным печам, соответствующая международным стандартам оборудования и уже успешно используемая в производстве.
Следует помнить, что инфракрасное излучение отлично подходит для работы с тонкими пленками и фотополимерами, когда необходим быстрый и равномерный нагрев поверхности. Однако необходимо контролировать коэффициенты излучения и отражения на различных поверхностях. Для правильной работы оборудования необходимо соответствовать спектру излучения пленке и настроить датчики температуры так, чтобы они измеряли температуру самой пластины, а не станины. Монтаж оборудования происходит просто, но необходимо уделить внимание настройке параметров для обеспечения стабильной работы.