เหตุใดเราจึงเปลี่ยนมาใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากคาร์บอนไฟเบอร์สำหรับกระบวนการผลิตกึ่งสำเร็จรูป
พูดตามตรงนะครับ: เตาอบแบบใช้ลมร้อนนั้นถือเป็นเทคโนโลยีที่ล้าสมัยไปแล้ว ในกระบวนการอบและทำให้วัสดุแห้งในอุตสาหกรรม半导体 เราก็เลิกใช้เตาอบแบบนั้นไปแล้ว และหันมาใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากคาร์บอนไฟเบอร์แทน เนื่องจากอุตสาหกรรมนี้มีแนวโน้มที่จะใช้เทคโนโลยีที่ไม่มีส่วนประกอบของตะกั่วและไม่ก่อให้เกิดมลพิษ
ต่างจากระบบที่ใช้ก๊าซในอดีต หลอดไฟเหล่านี้ใช้ไฟฟ้าในการทำงาน ไม่มีการเผาไหม้ และไม่มีสารพิษที่อาจปนเปื้อนในบริเวณที่ทำงาน มีเพียงพลังงานที่สะอาดเท่านั้น
หลักการทำงานของหลอดไฟเหล่านี้
ลองนึกภาพว่ามีเส้นใยคาร์บอนไฟเบอร์อยู่ภายในท่อควอตซ์ เมื่อเปิดสวิตช์ คาร์บอนไฟเบอร์จะทำหน้าที่ต้านทานกระแสไฟฟ้า และเปลี่ยนพลังงานไฟฟ้าให้กลายเป็นรังสีอินฟราเรดโดยตรง
กระบวนการนี้เกิดขึ้นอย่างรวดเร็วมาก คุณไม่จำเป็นต้องรอให้ห้องอบร้อนขึ้นก่อน หลอดไฟเหล่านี้สามารถให้ความร้อนได้อย่างแม่นยำ และความร้อนนั้นจะถูกส่งตรงไปยังวัสดุที่ใช้ในการผลิตชิป แทนที่จะเสียพลังงานไปกับการอุ่นอากาศรอบๆ ชิป วิธีนี้จึงทำให้กระบวนการผลิตเร็วขึ้น และอุปกรณ์ก็ไม่จำเป็นต้องใช้พื้นที่มากขนาดนั้น
การรักษาสิ่งแวดล้อม
การใช้วัสดุที่ไม่มีส่วนประกอบของตะกั่วและวัสดุที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมนั้นเป็นเรื่องที่ต้องหาจุดสมดุล คุณต้องควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสม หากอุณหภูมิสูงเกินไป ก็อาจทำให้วัสดุเสียหายได้
นี่คือจุดที่หลอดไฟเหล่านี้มีประโยชน์ เพราะเราสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ และเนื่องจากหลอดไฟเหล่านี้ไม่มีส่วนประกอบที่ก่อให้เกิดมลพิษ อากาศในห้องปลอดเชื้อก็จะยังคงสะอาดอยู่เสมอ นี่คือระบบที่ปิดสนิท ไม่มีการปล่อยก๊าซหรือมลพิษใดๆ ระหว่างการทำงาน ทำให้บรรยากาศภายในห้องปลอดเชื้อสะอาดมากขึ้น
ข้อจำกัดของหลอดไฟเหล่านี้
แน่นอนว่าหลอดไฟเหล่านี้ก็มีข้อจำกัดเช่นกัน เนื่องจากหลอดไฟเหล่านี้มีพลังงานสูงมาก คุณจึงต้องควบคุมอุณหภูมิของตัวหลอดให้ดี มิฉะนั้นหลอดไฟก็อาจเสียหายได้
นอกจากนี้ คุณยังต้องควบคุมความเร็วของสายพานลำเลียงด้วย หากสายพานเคลื่อนที่ช้าเกินไป ชิปก็อาจถูกเผาไหม้ก่อนที่จะออกมาจากสายพานได้ คุณยังต้องให้แน่ใจว่าตัวควบคุม PID สามารถทำงานได้อย่างรวดเร็วเพียงพอกับความเร็วในการตอบสนองของคาร์บอนไฟเบอร์ หากตัวควบคุมทำงานช้าเกินไป หลอดไฟก็จะทำงานเร็วเกินไปสำหรับตัวควบคุมนั้น