ทำไมเราถึงใช้แสงอินฟราเรดในการทำความร้อนให้กับตะกร้าในห้องสะอาด
ในโรงงานผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ “ความสะอาด” ไม่ใช่เพียงเป้าหมายเท่านั้น แต่เป็นสิ่งสำคัญที่สุด แม้แต่สิ่งสกปรกเล็กน้อยก็อาจทำลายผลิตภัณฑ์ได้
คนส่วนใหญ่มักคิดว่าการทำความร้อนคือการพัดอากาศร้อนไปรอบๆ แต่ในห้องสะอาด การใช้อากาศพัดนั้นเป็นเรื่องที่น่ากังวล เพราะจะทำให้เกิดฝุ่นและสิ่งสกปรกขึ้นมา ซึ่งหมายความว่าคุณจะต้องใช้เงินมหาศาลไปกับระบบกรองอากาศเพื่อให้อากาศสะอาดก่อนที่จะนำมาใช้ในการทำความร้อน
นั่นคือเหตุผลที่เราใช้แสงอินฟราเรดในการทำความร้อน แทนที่จะใช้อากาศ แสงอินฟราเรดใช้รังสีแม่เหล็กไฟฟ้าในการถ่ายโอนพลังงาน ซึ่งเป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพมากกว่า ไม่มีลม ไม่มีฝุ่น ไม่มีปัญหาใดๆ
การทำความร้อนโดยไม่ใช้ตะกั่ว
การเชื่อมชิปโดยไม่ใช้ตะกั่วนั้นต้องมีความแม่นยำสูง หากอุณหภูมิไม่ถูกต้องเพียงเล็กน้อย ก็อาจทำให้ชิปเสียหายได้
ข้อดีของแสงอินฟราเรดคือเราสามารถปรับความยาวคลื่นให้เหมาะสมกับสิ่งที่ชิปต้องการดูดซับได้ คุณจึงไม่ต้องเสียพลังงานไปกับการทำความร้อนห้องหรือตัวตะกร้าโลหะ แต่จะทำความร้อนเฉพาะชิปเท่านั้น
เนื่องจากเราไม่ต้องใช้ระบบที่ซับซ้อน ระบบนี้จึงสามารถทำให้อุณหภูมิถึงระดับที่ต้องการได้ในเวลาเพียงไม่กี่วินาที ซึ่งเร็วมาก
การจัดวางอุปกรณ์ในพื้นที่จำกัด
พื้นที่ในโรงงานนั้นมีค่ามาก
เนื่องจากหลอดแสงอินฟราเรดไม่จำเป็นต้องมีท่อระบายอากาศหรือเครื่องพัดลมขนาดใหญ่ อุปกรณ์เหล่านี้จึงสามารถวางไว้ในพื้นที่จำกัดได้ เราใช้ภาชนะที่ทำจากควอตซ์และสารเคลือบพิเศษ เพื่อให้ไม่มีก๊าซใดๆ หลุดออกมาเมื่ออุปกรณ์ร้อนขึ้น ซึ่งจะช่วยรักษามาตรฐาน ISO ไว้ได้ โดยไม่ต้องใช้พื้นที่มาก
ข้อจำกัดและวิธีแก้ไข
แน่นอนว่าไม่ใช่ทุกอย่างจะสมบูรณ์แบบ แสงอินฟราเรดที่มีความเข้มสูงนั้นมีพลังมาก แต่ก็อาจสร้างความเสียหายได้เช่นกัน
หากชิ้นส่วนมีความหนาไม่เท่ากัน ก็จะเกิดปัญหา คือขอบที่บางอาจร้อนจัด ในขณะที่ส่วนกลางยังคงเย็นอยู่ หากเซ็นเซอร์หรือตัวควบคุม PID มีความเร็วในการตอบสนองต่ำเกินไป ก็จะทำให้ชิปเสียหายได้
เพื่อป้องกันปัญหานี้ เราแนะนำให้ใช้ระบบควบคุมหลายโซน ซึ่งจะช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสมดุลทั่วทั้งตะกร้า ทำให้กระบวนการทำความร้อนเป็นไปอย่างมีประสิทธิภาพ