ในกระบวนการผลิตวัตถุดิบรูปแบบ 300 มม. นั้น ไม่มีเวลาเพียงพอให้อุโมงค์อบความร้อนทำงานได้ทัน ความผันผวนจากการอบความร้อนจะส่งผลให้ความกว้างของเส้นเปลี่ยนแปลงไป ส่วนความผันผวนจากการอบความร้อนที่รุนแรงก็จะส่งผลให้เกิดคราบสกปรกบนวัตถุดิบ และการอบความร้อนที่ช้าเกินไปก็จะทำให้เกิดรอยน้ำบนวัตถุดิบ ซึ่งส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพการผลิต เราจึงออกแบบเครื่องอบความร้อนแบบอินฟราเรดสำหรับวัตถุดิบในระดับเดียวกัน เพื่อให้สามารถอบความร้อนได้อย่างรวดเร็วและมีความแม่นยำตรงจุดที่ต้องการ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้แสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นที่มีการตอบสนองที่รวดเร็ว และมีการควบคุมสเปกตรัมได้อย่างแม่นยำ ทำให้พลังงานถูกส่งไปยังวัสดุที่ใช้ในการผลิตเท่านั้น ไม่ใช่ไปยังส่วนอื่นๆ ของเครื่องจักร ในบริเวณที่มีการประมวลผล จะมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C และสามารถควบคุมรูปแบบการอบความร้อนได้อย่างแม่นยำในแต่ละครั้งที่มีการผลิต
เครื่องนี้ถูกออกแบบมาสำหรับการใช้งานในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย มีหน้าต่างที่ทำจากควอตซ์ และมีระบบการไหลของอากาศที่ช่วยป้องกันไม่ให้มีฝุ่นเข้ามาในบริเวณที่มีการอบความร้อน มีการตรวจสอบความสะอาดของเครื่องในระหว่างการทดสอบ เพื่อให้มั่นใจว่าไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลย ระบบนี้สามารถทำงานได้ 24/7 โดยมีช่วงเวลาสำหรับการบำรุงรักษาที่สามารถวางแผนได้ล่วงหน้า ไม่มีปัญหาด้านเวลาการหยุดทำงานอย่างไม่คาดคิด
เหตุผลที่เหมาะสมสำหรับการใช้งาน
สำหรับการอบความร้อนวัตถุดิบ ระบบอินฟราเรดช่วยขจัดน้ำบนพื้นผิวได้โดยไม่ก่อให้เกิดความเสียหายทางความร้อน ทำให้เวลาการอบความร้อนลดลง และมีความผิดพลาดน้อยลง ในกระบวนการประมวลผลวัสดุ ระบบนี้ช่วยควบคุมการอบความร้อนได้อย่างแม่นยำ ทำให้ค่า CD และรูปร่างของพื้นผิวมีความสม่ำเสมอ
สำหรับระบบ CSP ในระดับวัตถุดิบ เครื่องอบความร้อนนี้ช่วยให้การอบความร้อนมีความสม่ำเสมอ และช่วยควบคุมความเสียหายทางความร้อนได้ดี ทำให้มีประสิทธิภาพการผลิตที่ดีขึ้น มีการกระจายความร้อนที่ดีขึ้น และมีของเสียน้อยลง โดยไม่จำเป็นต้องปรับตั้งค่าอุณหภูมิของเตาอบให้ตรงกับความเป็นจริงอยู่เสมอ
สิ่งที่ควรวางแผนไว้
เครื่องอบความร้อนนี้ต้องการแหล่งจ่ายไฟที่สะอาดและแห้ง และต้องมีพื้นผิวที่มั่นคงเพื่อให้สามารถควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ ระบบนี้สามารถใช้งานร่วมกับอุปกรณ์ FOUP และอินเตอร์เฟซ SEMI ได้ แต่การติดตั้งต้องคำนึงถึงความแตกต่างของค่าการแผ่รังสีของวัสดุต่างๆ เรามีเมทริกซ์สำหรับการปรับค่าต่างๆ ให้เหมาะสมกับแต่ละกระบวนการผลิต
ควรมีการตรวจสอบเครื่องอบความร้อนเป็นประจำ ความแม่นยำไม่ได้เกิดขึ้นโดยบังเอิญ แต่ต้องมีการดูแลรักษาอย่างสม่ำเสมอ