Üretim katında durum böyle işler: Fotoresist pişirme sıcaklığında 0.5°C’lik bir sapma kritik boyutlarınızı etkiler—bir sonraki aşamada ise çok sayıda parçayı hurdaya ayırırsınız. Bu fotovoltaik silikon wafer ısıtıcısını, termal davranışı litografi penceresi içinde tutmak için vardiya vardiya kullanmak üzere geliştirdik.
Motor kaputunun altında önemli olan
Kısa dalga kızılötesi elemanlarla çalışır, bu yüzden hızlı ve doğrudan tepki verir. Aktif alan genelinde wafer seviyesinde uniformite ±0.1°C’ye ulaşır ve ayar noktaları 0.2°C içinde tekrarlanır. Bu da yumuşak pişirme (soft bake) ve sert pişirme (hard bake) profillerinin her çalıştırmada aynı şekilde gerçekleştiği anlamına gelir.
Isıtıcı gövdesi kuvars ve yüksek saflıkta seramikten yapılmıştır—parçacık saçılması yoktur—ve temiz oda Class 1–100 ortamında rahatlıkla kullanılabilir. Güç yoğunluğu 156–210 mm waferler için optimize edilmiştir ve ısı rampası waferin termal bütçesine uygun kontrol edilir.
PV wafer işleme sürecinde tercih edilme nedeni
Fotovoltaik wafer hatlarında pişirme sıcaklıklarının sabit kalması gerekir. Fotoresist akışını, yapışmayı ve aşındırma seçiciliğini kontrol etmeniz gerekir—waferleri çatlatan aşırı ısınma olmadan. Bu ünite bu çizgiyi korur, böylece yeniden işleme ihtiyacını azaltır, hurda oranını düşürür ve değişim süresini hızlandırır.
Enerji tüketimi de azalır. Hızlı ısınır ve sabit tutar, böylece eski sıcak tablalarda olduğu gibi uzun stabilizasyon beklemelerine zaman harcamazsınız. Ayrıca uluslararası yarı iletken ekipman standartlarıyla uyumlu, doğrulanmış eşdeğer bir yedek parça olarak tasarlandığı için tüm hattı tekrar kalibre etmeden doğrudan devreye alınabilir.
Pratik detaylar
Çoğu standart litografi pişirme modülüne uyacak şekilde tasarlanmıştır, ancak platformunuza uygun taban alanı ve montaj donanımını mutlaka doğrulamanız gerekir. Soğuk başlangıçtan sonra proses penceresine geri dönmeden önce kısa bir termal bekletme yapılmalıdır.
Elektrik bağlantılarını belirtilen voltaj ve soğutma yolu ile hizalayın. Hava akışı uygun değilse uniformitede birkaç onda bir derece sapma olabilir. Hizalandıktan sonra proses sabit kalır ve ekipman 7/24 öngörülebilir bakım aralıklarıyla çalışmaya devam eder.