Uçucu kimyasalların bulunduğu ortamlarda IR ısıtma kullanırken güvenliği sağlama
Yarı iletkenlerin ıslak temizlenmesi sırasında, IR ısıtma lambaları genellikle yanıcı veya patlayıcı buharlarla dolu odaların tam ortasına yerleştirilir. Bu oldukça riskli bir durumdur; küçük bir kıvılcım ya da yalıtımdaki bir hata bile büyük bir felakete yol açabilir.
Bu yüzden sadece güç değerlerine değil, aynı zamanda lambaların korunmasına da dikkat ediyoruz. Sır, mühürlemede yatıyor. Elektrik terminallerini kimyasallardan tamamen uzak tutmak için çift katmanlı mühürleme yöntemi kullanıyoruz. En büyük sorun ise güç kablolarının kuvars kılıfına girdiği noktadır. Bunu çözmek için yüksek sıcaklıklara dayanabilen ve kimyasallarla reaksiyona girmez olan cam-metal mühürleri ve özel kaplamalar kullanıyoruz.
Oldukça basit: Eğer bu aşındırıcı buharlar devreye sızarsa, kısa devre meydana gelir. Mühürlerimiz, lambanın içindeki halojen gazını içerde tutarken, zararlı kimyasalları dışarıda tutar.
Kimyasal stresle mücadele
Eğer malzemeleriniz bu ortama uyum sağlayamazsa, hızla bozulurlar. Bu yüzden lambaların “sislenmemesi” ve temizleyiciler tarafından aşınmaması için yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz. Ancak kuvars yüzeyinde çentikler oluştuğunda ısı eşit şekilde dağılmaz ve waferlerde sıcak noktalar oluşur. Bu da istemediğimiz bir durumdur. Bu yüzden ısı akışının tüm yüzeyde eşit ve düzenli olmasını sağlayan kaplamalar kullanıyoruz.
Tercihler (çünkü hiçbir şey bedava değildir)
Bu güvenlik önlemleri lambaların boyutunu biraz artırır. Ayrıca, bu koruyucu kaplamalar, çıplak tüplere kıyasla biraz daha az IR ışığı geçmesine neden olur. Bu yüzden hedef sıcaklığa ulaşmak için güç ayarlarını artırmanız veya waferleri biraz daha uzun süre ısıtmanız gerekebilir.
Son olarak, kablolar için mutlaka patlamaya dayanıklı kablolar kullanın. İşte böylece güvenlik konusunda her şey kontrol altına alınmış olur.