На виробничій лінії достатньо лише 0,5°C коливань температури на поверхні пластини, щоб це призвело до змін ширини ліній та втрати продукції. Ми створили цю платформу для підтримки температури в межах необхідного діапазону протягом усього процесу.
Що є важливим? Ми забезпечуємо стабільність температури на рівні ±0,1°C на всій поверхні пластини; точність регулювання також залишається в цьому ж діапазоні. Платформа призначена для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; вона не створює додаткових частинок пилу під час роботи.
Інфрачервоне випромінювання короткої та середньої довжини хвилі, разом із зонами нагріву, ізольованими кварцем, забезпечують швидку та безконтактну реакцію температури. Ви можете контролювати температуру, не пошкоджуючи поверхню пластини. Функції „м’якого“ та „жорсткого“ нагріву забезпечують стабільність процесу, що скорочує час підготовки та енергоспоживання.
Чому це важливо в літографії? У літографії така точність означає меншу кількість необхідних корекцій, меншу кількість дефектів та стабільний контроль параметрів. Кращий контроль температури покращує якість фотополімеру та зменшує варіабельність параметрів – не потрібно коригувати хімічний склад.
Енергоспоживання зменшується через швидке досягнення бажаної температури та її стабільне підтримування. Платформа призначена для 24/7 роботи із мінімумом перерв. Це сприяє підвищенню продуктивності, зменшенню кількості відходів та зниженню витрат на одну пластину.
Що потрібно планувати заздалегідь? Платформі потрібен окремий джерело живлення та постачання чистого, сухого повітря для забезпечення теплової стабільності та відповідності стандартам чистих приміщень. Треба також врахувати строгі вимоги щодо встановлення платформи – необхідно планувати її розташування відповідно до інтерфейсу системи.
Очікуйте короткий час налаштувань для досягнення оптимальних параметрів нагріву. Після налаштування процес буде стабільним.