لیتھوگرافی کے عمل میں، “سوفٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” دراصل صرف حرارتی عمل نہیں ہیں؛ بلکہ یہ دراصل ابعاد سے متعلق عمل ہیں۔ ویفر پر 2°C کی تبدیلی سے اس کے اہم ابعاد متاثر ہو جاتے ہیں، اور گرم زون میں پیدا ہونے والا ایک ہی ذرہ بھی پورے ویفر کو تباہ کر سکتا ہے۔ اس لیے ہم نے ایک زونل انفراریڈ ہیٹنگ ماڈیول تیار کیا، جو حرارت کو صرف اسی جگہ پہنچاتا ہے جہاں اس کی ضرورت ہے، اور اس طرح کوئی آلودگی پیدا نہیں ہوتی۔
اس ماڈیول میں شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کیے گئے ہیں، جو الگ الگ کنٹرول کیے جانے والے زونوں میں ترتیب دیے گئے ہیں۔ پروسیسنگ کے دوران ویفر کی سطح پر حرارت کی یکسانیت ±0.1°C رہتی ہے، جبکہ دو بیچوں کے درمیان درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.2°C رہتی ہے۔ گرم زون صاف رہتا ہے؛ کیوں کہ کوارٹز اور ریفلیکٹرز کا استعمال کیا گیا ہے، جن سے کم گیس خارج ہوتی ہے، اور مستقل کام کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔ کلاس 1–100 کے کلین رومز میں، یہ ماڈیول مستحکم حرارتی پروفائل فراہم کرتا ہے، اور ذرات کی تعداد میں کوئی اضافہ نہیں ہوتا۔ فوٹوریزسٹ کی بیکنگ کے دوران بھی کوئی مشکل پیش نہیں آتی، اور بیچ کے اندر CD کی تغیرات بھی کم ہو جاتے ہیں۔
اس طریقہ سے پروسیسنگ کے دوران بہتر نتائج حاصل ہوتے ہیں۔ “سوفٹ بیک” کی بدولت کناروں کی حالت بہتر ہوتی ہے، اور اوورلے کی شرح بھی بہتر ہو جاتی ہے۔ “ہارڈ بیک” کی بدولت چپس کی چپکنے کی صلاحیت اور ایچنگ کی درستگی بہتر ہو جاتی ہے، جس سے فضول کام کم ہو جاتا ہے۔ زونل طریقہ سے توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ پورے چیمبر کو گرم کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔ اور ماڈیولر ڈھانچے کی وجہ سے، بحفاظت دیکھ بھال کے دوران ماڈیولوں کو تیزی سے تبدیل کیا جا سکتا ہے، جس سے غیرمتوقع بندشوں سے بچا جا سکتا ہے۔
اسے نصب کرنے کے لیے، مشین کے انٹرفیس اور ایگزاسٹ کنکشن کو درست کرنا ضروری ہے۔ ماڈیول کو کیریئر پاتھ کے ساتھ منظم کیا جاتا ہے، اور مخصوص فلو کے ساتھ ہی گرم زون کو الگ رکھا جاتا ہے۔ یہ ماڈیول معیاری سیمی کنڈکٹر آلات کے سائز میں ہی فٹ ہوتا ہے، لیکن کمیشننگ کے دوران وائرنگ اور کنٹرول سسٹم کی جانچ ضرور کرنی چاہیے، تاکہ یہ آپ کے MES اور PM سسٹم سے ہم آہنگ رہے۔