Trên sàn sản xuất, bạn hiểu rõ quy trình: chỉ cần lệch 0,5°C trong quá trình nung photoresist thì kích thước quan trọng sẽ sai lệch—kết quả là bạn phải loại bỏ nhiều sản phẩm. Chúng tôi đã thiết kế bộ gia nhiệt silicon quang điện này để giữ ổn định nhiệt trong cửa sổ lithography, ca này qua ca khác.
Điều quan trọng bên trong thiết bị
Thiết bị sử dụng các phần tử hồng ngoại sóng ngắn, cho phản hồi nhanh và trực tiếp. Trong toàn bộ vùng hoạt động, độ đồng đều cấp wafer đạt ±0,1°C, và các điểm đặt nhiệt lặp lại trong giới hạn 0,2°C. Điều này đảm bảo các profile soft bake và hard bake ổn định, đồng đều qua từng lần chạy.
Thân bộ gia nhiệt làm bằng thạch anh và gốm tinh khiết cao—không gây phát tán bụi—và phù hợp vận hành trong phòng sạch từ Class 1 đến 100. Mật độ công suất được điều chỉnh cho wafer kích thước 156–210 mm, với kiểm soát tăng nhiệt phù hợp ngân sách nhiệt của wafer.
Lý do thiết bị được áp dụng trong quy trình wafer PV
Dây chuyền wafer quang điện yêu cầu nhiệt độ nung ổn định. Cần kiểm soát dòng chảy photoresist, độ bám dính cũng như độ chọn lọc khi ăn mòn—không để nhiệt độ vượt mức gây biến dạng wafer. Thiết bị này giữ nhiệt độ ổn định, giúp giảm thiểu việc làm lại, giảm phế liệu và rút ngắn thời gian chuyển đổi.
Tiêu thụ năng lượng cũng được tối ưu. Thiết bị nóng lên nhanh và duy trì nhiệt ổn định, tránh mất thời gian ổn định lâu như các hotplate cũ. Đồng thời, nó được thiết kế như một bộ thay thế đã được xác nhận tương đương, phù hợp tiêu chuẩn thiết bị bán dẫn quốc tế, nên có thể lắp đặt mà không cần đánh giá lại toàn bộ dây chuyền.
Chi tiết vận hành thực tế
Thiết bị phù hợp với hầu hết các module nung lithography tiêu chuẩn, nhưng bạn cần xác nhận kích thước chân đế và bộ phận gắn kết phù hợp với nền tảng cụ thể của mình. Sau khi khởi động lạnh, cần ngâm nhiệt ngắn trước khi quay trở lại cửa sổ quy trình.
Kết nối nguồn điện theo điện áp định mức và đảm bảo đường dẫn làm mát. Nếu luồng khí không phù hợp, độ đồng đều nhiệt có thể lệch vài phần mười độ. Khi đã cân chỉnh đúng, quy trình được khóa ổn định, và thiết bị hoạt động liên tục 24/7 với các khoảng bảo trì dự đoán được.