Bảo vệ an toàn khi sử dụng công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại gần các chất hóa học dễ nổ
Khi tiến hành quy trình làm sạch bán dẫn, người ta thường đặt các bóng đèn sưởi ấm bằng tia hồng ngoại ngay giữa những buồng chứa các chất hóa học dễ cháy hoặc nổ. Đó là một tình huống rất nguy hiểm. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hoặc sự cố trong hệ thống cách điện, mọi thứ có thể trở thành thảm họa.
Vì vậy, chúng tôi không chỉ quan tâm đến công suất của bóng đèn, mà còn chú trọng đến việc bảo vệ chúng khỏi các chất hóa học. Bí quyết nằm ở việc niêm phong kín bóng đèn. Chúng tôi sử dụng phương pháp niêm phong hai lớp để giữ cho các đầu nối điện xa khỏi các chất hóa học. Điểm khó khăn nhất chính là chỗ mà dây điện kết nối với lớp vỏ thủy tinh của bóng đèn. Để giải quyết vấn đề này, chúng tôi sử dụng các loại keo kín gốm kim loại và các chất phủ đặc biệt có khả năng chịu nhiệt cao mà không bị ảnh hưởng bởi các chất hóa học.
Điều này khá đơn giản: nếu các chất hóa học xâm nhập vào mạch điện, điện áp sẽ bị gián đoạn. Các lớp niêm phong của chúng tôi giúp giữ chất khí halogen bên trong bóng đèn, trong khi các chất hóa học thì bị loại bỏ bên ngoài.
Đối phó với tác động của các chất hóa học
Nếu vật liệu sử dụng không thể chịu được môi trường này, chúng sẽ bị phá hủy nhanh chóng. Chúng tôi sử dụng thủy tinh có độ tinh khiết cao, kèm theo các lớp phủ đặc biệt, để tránh tình trạng bóng đèn bị mờ hoặc bị ăn mòn bởi các chất tẩy rửa. Vấn đề là, khi bề mặt thủy tinh bị ăn mòn, nhiệt lượng sẽ không được phân bổ đều. Điều này dẫn đến tình trạng có những điểm nóng trên wafer, điều mà chúng ta không mong muốn chút nào. Chúng tôi chọn những lớp phủ giúp duy trì dòng nhiệt ổn định và đều trên toàn bộ bề mặt wafer.
Những hy sinh cần chấp nhận (vì không có gì là miễn phí)
Những biện pháp bảo vệ này khiến bóng đèn trở nên to hơn một chút. Việc niêm phong bóng đèn cũng khiến chiều dài của bóng đèn tăng lên, vì vậy bạn có thể cần điều chỉnh khoảng cách giữa các thanh giá đỡ bóng đèn để chúng vừa vặn.
Ngoài ra, các lớp phủ bảo vệ này cũng làm giảm một chút công suất tia hồng ngoại phát ra từ bóng đèn. Bạn có thể cần tăng cường công suất hoặc kéo dài thời gian sưởi ấm để đạt được nhiệt độ mong muốn.
Cuối cùng, hãy chắc chắn rằng bạn sử dụng các ống dẫn điện chống nổ đúng tiêu chuẩn. Đó chính là cách để đảm bảo an toàn cho bóng đèn.