Tại sao việc sử dụng máy sưởi bằng sóng hồng ngoại trong môi trường chân không là giải pháp tốt nhất cho quy trình xử lý bán dẫn?
Ngành công nghiệp bán dẫn đang dần chuyển sang sử dụng các tiêu chuẩn “xanh” và không chứa chì. Đã đến lúc cần thay đổi rồi. Trong thời gian dài, chúng ta vẫn phải sử dụng lò sưởi thông thường và các chất hóa học có tính ăn mòn cao; điều này vừa lãng phí năng lượng, vừa khiến các wafer bị bẩn.
Nếu bạn đang tìm cách thoát khỏi tình trạng này, thì máy sưởi bằng sóng hồng ngoại trong môi trường chân không chính là giải pháp tốt nhất.
Cơ chế hoạt động của máy sưởi bằng sóng hồng ngoại
Hãy tưởng tượng: trong môi trường chân không, không có không khí. Không có không khí tức là không có hiện tượng đối lưu nhiệt. Bạn không thể dùng luồng khí nóng để sưởi chất liệu được xử lý khi không có không khí để thổi khí nóng vào đó.
Đó chính là lúc sóng hồng ngoại phát huy tác dụng. Nó sử dụng sóng điện từ để truyền nhiệt trực tiếp vào chất liệu cần xử lý. Bạn không cần phải mất thời gian để làm nóng toàn bộ buồng xử lý hay hàng ngàn mét khối không khí trống rỗng. Bạn chỉ cần làm nóng chính chất liệu cần xử lý thôi.
Quy trình này diễn ra rất nhanh. Và đây chắc chắn là phương pháp hiệu quả nhất để hoàn thành công việc.
Việc làm sạch quy trình xử lý
Các loại keo dán không chứa chì và các chất kết dính thân thiện với môi trường đòi hỏi điều kiện nhiệt độ rất chính xác. Nếu nhiệt độ quá cao, chip sẽ bị hư hại. Còn nếu nhiệt độ quá thấp, quy trình xử lý sẽ thất bại, và bạn sẽ lãng phí toàn bộ sản phẩm.
Chúng tôi sử dụng sóng hồng ngoại tần số cao để nâng nhiệt độ một cách nhanh chóng và chính xác.
Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể loại bỏ các hợp chất hữu cơ dễ bay hơi – những chất từng được coi là “bí quyết” để đẩy nhanh quá trình khô. Bằng cách loại bỏ không khí và các chất hóa học, bạn có thể đạt được quy trình xử lý không gây ô nhiễm. Điều này rất tốt cho môi trường.
Những thách thức kỹ thuật
Tuy nhiên, có một số khó khăn. Máy sưởi bằng sóng hồng ngoại công suất cao tạo ra lượng nhiệt rất lớn. Điều này rất tốt cho tốc độ sản xuất, nhưng lại gây áp lực lớn lên các thiết bị.
Tôi đã chứng kiến nhiều hệ thống bị hỏng do hệ thống làm mát không đủ khả năng đối phó với công suất của máy sưởi. Nếu bạn không cân bằng được lượng nhiệt được tạo ra với khả năng làm mát của buồng xử lý, bạn sẽ gặp phải vấn đề liên quan đến việc rò rỉ khí hoặc hư hỏng các chi tiết máy.
Một vài mẹo hữu ích: Hãy sử dụng dây dẫn có khả năng chịu nhiệt cao. Và đừng quên kiểm tra xem phụ kiện chân không của bạn có thể chịu được sự giãn nở nhiệt của ống thạch anh hay không. Nếu không, bạn sẽ phải liên tục xử lý các vấn đề liên quan đến rò rỉ khí mỗi khi máy hoạt động.