http://warm-ir-heater-ray.com/cs/tags/module/ Recent content in Module on Warm IR Heating Rays Hugo cs Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/cs/posts/zoned-infrared-heating-module/ Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/cs/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Modul pro infračervené vytápění s rozdělením zón"></p> <p>V oblasti litografie nejsou procesy měkkého a tvrdého zahřívání pouze termickými kroky – jedná se o klíčové faktory ovlivňující rozměry polovodičových desek. Změna teploty o 2 °C na povrchu desky může ovlivnit její kritické rozměry. Jediná částice vzniklá v horké zóně může zničit velkou část desky. Proto jsme vyvinuli modul pro infračervené zahřívání s rozdělením na jednotlivé zóny – takto lze udržet požadovanou teplotu tam, kde je to důležité, bez rizika kontaminace.</p> <p>Modul využívá emitory krátkovlnného infračerveného záření, které jsou rozloženy do samostatně ovládaných zón odpovídajících geometrii desky. Na celém povrchu desky je teplotní jednotnost na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost teploty mezi jednotlivými seriami je ±0,2 °C. Horká zóna zůstává čistá – používají se kvartové materiály a odrazivé prvky, které minimalizují uvolňování plynů. Navíc tento design zaručuje nulovou produkci částic během stabilního provozu. V čistých prostorách třídy 1–100 se tak <a href="https://o-yate.com">dosahuje</a> stabilních teplotních podmínek bez nárůstu počtu částic. Díky tomu se zlepšuje kvalita fotorezistentů a snižují se odchylky rozměrů desek mezi jednotlivými seriami.</p>