Úvod Pojďme si povídat o tom, co se stane, když je linka na sušení čipů typu MEMS pracující na plné kapacitě. Teplota je zvýšena na maximum, systém...

Když procházíte výrobní linkou dostatečně dlouho, naučíte se všímat si těch „tišších“ aspektů procesu. Jediný krok sušení čipu může spotřebovat více...

V provozu výrobní linky stačí odchylka teploty v sušicí komoře o méně než 1 °C k znehodnocení celé série výrobků. Wafery vyjdou z čisté komory stále...

V řadě 300 mm jsou neplanované přerušení provozu a částice hlavními problémy. Konvekční pece sloužily k sušení a vypalování po celá léta, ale jejich...