Mehr aus Ihren Hochleistungslampen herausholen mit Quarzschildern
Wenn Sie eine Halbleiterfabrik betreiben, sind Ihre IR-Heizlampen im Grunde die wichtigsten Komponenten für alle Prozesse des Heizens und Trocknens. Doch wenn Sie Ziele bezüglich der Kohlenstoffneutralität erreichen möchten, reicht es nicht aus, einfach eine Lampe auszuwechseln. Man muss das gesamte thermische System berücksichtigen.
Dabei kommen hochreine Quarzglas-Schilder ins Spiel. Sie schützen zwar die Heizelemente, doch sie beeinflussen auch die Verteilung der Wärme.
Energieverschwendung vermeiden
Betrachten Sie den Quarzschild als eine Art „intelligente Barriere“. Er befindet sich zwischen dem Halogenfilament und dem Rest der Anlage. Aufgrund seiner hohen Reinheit dringt das Kurzwellen-Infrarotlicht einfach hindurch, ohne vom Glas aufgenommen zu werden. Dadurch trifft mehr Wärme auf die Wafer – und viel weniger Wärme entweicht in den Gehäusebereich der Anlage. Wenn Sie Ihre Anlagen nicht mehr wie riesige Heizgeräte nutzen müssen, müssen die Kühlsysteme nicht so hart arbeiten. Dadurch sinkt die Gesamtstromkosten. So einfach ist das.
Die Gefahr billiger Materialien
Wir verwenden aus gutem Grund hochreines Fused Silica. In einer Sauberkeitsumgebung kann bereits ein kleiner Anteil an Ausgasungen oder Staubpartikeln aus billigen Schildern dazu führen, dass die Produktqualität leidet. Das ist ein Albtraum.
Außerdem müssen diese Schilder den starken Temperaturunterschieden standhalten, ohne zu Rissen zu kommen. Wenn ein Schild trüb wird oder versagt, wird die Wärmeerzeugung ungleichmäßig. Sie werden wahrscheinlich versuchen, die Lampen stärker einzustellen, um das Problem auszugleichen – doch das führt nur dazu, dass die Filamente schneller zerstört werden. Mehr Verschwendung, mehr Stillstand.
Den richtigen Kompromiss finden
Es handelt sich dabei um ein Gleichgewicht zwischen verschiedenen Faktoren. Eine bessere Wärmeübertragung bedeutet eine höhere Wärmestärke – dadurch kann man die Temperatur schneller erhöhen. Doch hohe Intensitäten des Infrarotlichts können dazu führen, dass die Oberfläche mit Schmutz bedeckt wird.
Außerdem spielt die Dicke des Schildes eine Rolle. Ein dickerer Schild kann den starken Temperaturunterschieden standhalten – doch er lässt weniger Infrarotlicht durch. Man muss einfach die Dicke wählen, die zu der jeweiligen Leistung der Anlage sowie zur Häufigkeit der Reinigung passt.