http://warm-ir-heater-ray.com/de/tags/gebietsweise-eingeteilt/ Recent content in Gebietsweise Eingeteilt on Warm IR Heating Rays Hugo de Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/de/posts/zoned-infrared-heating-module/ Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/de/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Gebietsbezogenes Infrarotheizmodul"></p> <p>In der Lithografiebucht sind die Schritte des Weichbrennens und Hartbrennens keine einfachen thermischen <a href="https://henruite.com">Prozesse</a> – sie stellen vielmehr wichtige Kontrollpunkte für die Dimensionen des Chips dar. Eine Abweichung von 2°C auf der Wafer-Oberfläche kann dazu führen, dass kritische Dimensionen verändert werden. Zudem kann ein einzelner Teilchen, das in der Heizzone entsteht, große Schäden verursachen. Deshalb haben wir einen zonierten Infrarotheizmodul entwickelt, der die Wärme genau dort kontrolliert, wo es wichtig ist – ohne dabei Kontaminationen zu verursachen.</p> <p>Das Modul verwendet Kurzwellen-Infrarotstrahler, die in unabhängig steuerbaren Zonen angeordnet sind. Dadurch wird eine Wärmeeinheitlichkeit auf der Wafer-Oberfläche von ±0,1°C erreicht. Die Temperaturgenauigkeit liegt bei ±0,2°C zwischen den verschiedenen Chargen. Die Heizzone bleibt sauber: Es werden Quarz- und Reflektorbauteile verwendet, die wenig Gase abgeben. Durch die modulare Bauweise entstehen während des Betriebs keine Partikel. In Reinräumen der Klasse 1–100 bleibt die Temperatur stabil – ohne Anstieg der Partikelzahl. Dadurch verbessern sich auch die Eigenschaften des Fotolacks. Zudem sinkt die Varianz der CD-Werte innerhalb einer Charge.</p>