Reflektor für Wafer Aushärtungslampe

Wed, 15 Jul 2026 13:44:28 +0800

Stoppen Sie die Glasscherben: Warum die Konstruktion des Reflexors wirklich wichtig ist
Bei der Behandlung von Wafern unter hohem Druck bedeutet ein defekter Lampenkolben nicht nur Ärger oder unplanmäßige Stillstände – es handelt sich dabei um einen echten Albtraum. Wenn eine Quarzröhre platzt, fallen Glasstücke und Halogenablagerungen direkt auf die Siliziumwafer. Ein einziger solcher Vorfall kann dazu führen, dass ganze Chargen von Wafern zerstört werden. Deshalb betrachten wir den Reflektor nicht einfach als Spiegel – vielmehr als Schutzschild.

Der Schlüssel liegt in der Form.
Wir verwenden eine tiefgeformte Konstruktion mit Beschichtungen aus hochreinem Aluminium oder Gold. Ziel ist es, so viel Wärme wie möglich genau dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird – also auf die Wafer. Da die Wärmestrahlung so gezielt geleitet wird, kann man die Leistung der Lampe reduzieren, ohne dass die Temperatur der Wafer ansteigt. Das bedeutet wiederum weniger Belastung für den Quarzkolben – und somit weniger Defekte. Einfach so.

Zertifizierter Hersteller von Infrarot Härtungslampen

Tue, 14 Jul 2026 11:59:55 +0800

Das Ende des Albtraums durch geplatzte Infrarotröhren bei der Trocknung von Wafern
In einer Halbleiterfabrik kann bereits ein einziger Defekt einer Lampe dazu führen, dass ganze Batches von Wafern zerstört werden. Das ist eine Katastrophe. Wenn eine Infrarotröhre unter hohem Druck versagt, entstehen nicht nur Ausfälle in der Produktion – sondern auch Quarzkörner sowie Halogengas, die auf die Wafer herabfallen.

Wir entwickeln unsere zertifizierten Infrarottrocknungsgeräte so, dass so etwas nie passiert.

Schutz der Wafer
Die meisten Röhren versagen bei schnellen Stromwechseln. Der Druck auf das Glas ist einfach zu groß. Um dies zu vermeiden, verwenden wir hochreines, verschmolzenes Quarzglas mit einer Wandstärke, die speziell darauf abgestimmt ist, thermischen Belastungen standzuhalten. Zudem haben wir die Hülle verstärkt, sodass sie dem inneren Druck standhalten kann, ohne zu verbiegen.

Heilen on Warm IR Heating Rays

Reflektor für Wafer Aushärtungslampe

Zertifizierter Hersteller von Infrarot Härtungslampen