Ruby Infrarot Heizlampe 230V

Tue, 23 Jun 2026 13:06:00 +0800

In der Lithografie ist eine Temperaturänderung von 2°C während des Weichbrennvorgangs des Photoresists keine zulässige Toleranz – das führt dazu, dass die Produktqualität leidet. Die Wafer stapeln sich an, die Termine verspäten sich, und die Anzahl der Partikel nimmt zu, sobald die Temperaturregelung nicht mehr zuverlässig funktioniert. Wir haben die Ruby-Infrarotheizlampe (230 V) entwickelt, um die Temperatur im gewünschten Bereich zu halten – Schicht für Schicht.

Was technisch wichtig ist:
Die Ruby-Lampe emittiert Kurzwellen-Infrarotlicht mit schneller Reaktionszeit und präziser Spektralkontrolle. Mit einer Nennspannung von 230 V passt sie problemlos in die Standardausrüstung – ohne Umbau oder Transformatoren. In der aktiven Zone bleibt die thermische Homogenität bei ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit zwischen den Durchgängen liegt bei ±0,5°C. Die Quarzkapsel sowie das Rubin-Dopantmuster reduzieren das Ausgasen und sorgen dafür, dass nur wenige Partikel entstehen – somit kann eine Reinraumklasse von 1–100 erreicht werden. Wir haben die Lampen bereits über 5.000 Stunden lang im Dauerbetrieb eingesetzt – mit weniger als 5% Leistungseinbruch. Die Geometrie des Filaments sorgt außerdem für eine stabile Widerstandskraft trotz thermischer Belastungen.

Ruby on Warm IR Heating Rays

Ruby Infrarot Heizlampe 230V