Zertifizierter Hersteller von Infrarot Härtungslampen

Tue, 14 Jul 2026 11:59:55 +0800

Das Ende des Albtraums durch geplatzte Infrarotröhren bei der Trocknung von Wafern
In einer Halbleiterfabrik kann bereits ein einziger Defekt einer Lampe dazu führen, dass ganze Batches von Wafern zerstört werden. Das ist eine Katastrophe. Wenn eine Infrarotröhre unter hohem Druck versagt, entstehen nicht nur Ausfälle in der Produktion – sondern auch Quarzkörner sowie Halogengas, die auf die Wafer herabfallen.

Wir entwickeln unsere zertifizierten Infrarottrocknungsgeräte so, dass so etwas nie passiert.

Schutz der Wafer
Die meisten Röhren versagen bei schnellen Stromwechseln. Der Druck auf das Glas ist einfach zu groß. Um dies zu vermeiden, verwenden wir hochreines, verschmolzenes Quarzglas mit einer Wandstärke, die speziell darauf abgestimmt ist, thermischen Belastungen standzuhalten. Zudem haben wir die Hülle verstärkt, sodass sie dem inneren Druck standhalten kann, ohne zu verbiegen.

Zertifiziert on Warm IR Heating Rays

Zertifizierter Hersteller von Infrarot Härtungslampen