دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن فر باشید؛ چرا که لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا واقعاً مؤثر هستند.
بیایید صادق باشیم: انتظار برای گرم شدن ویفر توسط هوای گرم، کاری طولانی و غیرکارآمد است. در واقع، شما در حال گرم کردن هوا هستید، و امیدوارید که این هوا بتواند انرژی کافی را به سطح ویفر منتقل کند. این روش کند و غیرکارآمد است. در کارخانههای تولید نیمههادی، این تأخیر میتواند باعث کاهش بهرهوری شود.
ما راه بهتری پیدا کردیم؛ به جای استفاده از هوا، از لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم تا گرما از طریق تابش منتقل شود.
راز، در خود طلاست.
لامپهای کوارتز معمولی، انرژی را در تمام جهات تابش میدهند؛ این کار باعث هدررفت انرژی میشود. اما وقتی داخل لامپ را با طلا پوشانیم، این لامپ مانند یک آینه عمل میکند و تمام انرژی مادون قرمز را به سمت ویفر هدایت میکند.
نتیجه چیست؟ شما دیگر نیازی نیست انرژی را صرف گرم کردن بدنه دستگاه یا دیوارههای فر کنید؛ گرما مستقیماً به سمت ویفر میرود.
چرا این روش بهتر از استفاده از هوای گرم است؟
مادون قرمز نیازی به دورههای گرم شدن ندارد؛ این انرژی بلافاصله به سمت هدف میرود. در حالی که هوای گرم با انرژی حرارتی مقاومت دارد، تابش مادون قرمز مستقیماً وارد ماده نیمههادی میشود. این روش بسیار کارآمد است؛ میتوانید دما را در عرض چند ثانیه افزایش یا کاهش دهید.
مشکلات احتمالی (چون هیچ چیز کامل نیست):
البته، استفاده از لامپهای مادون قرمز با تراکم بالا، روشی جادویی نیست؛ باید به برخی موارد توجه کرد.
از آنجایی که انرژی زیادی در یک نقطه متمرکز میشود، این نقطه بسیار داغ میشود. اگر فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده مناسب نباشند، ممکن است قطعات دستگاه ذوب شوند یا حسگرها آسیب ببینند.
همچنین، نمیتوانید فقط تنظیمات قبلی را استفاده کنید؛ باید کنترلکنندههای PID را تنظیم کنید تا بتوانند واکنش سریع لامپها را مدیریت کنند؛ در غیر این صورت، دما از حد مورد نظر فراتر خواهد رفت.
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که به راحتی میتوانند جایگزین فرهای قدیمی شوند؛ این روش، راهی برای بهرهبرداری بهتر از فضای موجود است، بدون نیاز به ساخت بخشهای جدید در کارخانه.