http://warm-ir-heater-ray.com/fa/tags/%D9%BE%D9%88%D8%B4%D8%A7%D9%86%D9%86%D8%AF%D9%87/ Recent content in پوشاننده on Warm IR Heating Rays Hugo fa Wed, 24 Jun 2026 01:03:51 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/fa/posts/coater-developer-infrared-heater/ Wed, 24 Jun 2026 01:03:51 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/fa/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="گرمکن مادون قرمز برای لاکزن و آبکش"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، نمی‌توان از تغییرات دما جلوگیری کرد. حتی کوچکترین اختلاف در دما، منجر به ایجاد خطاهای اندازه‌گیری در سطح ویفر می‌شود. خطوط لازم برای پوشاندن و توسعه ویفر، متوقف نمی‌شوند؛ بلکه به کار خود ادامه می‌دهند. اگر هیتر نتواند دمای مورد نظر را به طور پایدار حفظ کند، الگوی فوتورزیست تغییر کرده و این امر منجر به افزایش نقص‌ها می‌شود.</p> <p><strong>آنچه ما ساختیم و چرا این موضوع مهم است</strong><br> ما این هیتر مادون قرمز را بر اساس لامپ‌های موج کوتاه و ساختار حرارتی مبتنی بر کوارتز طراحی کردیم؛ زیرا زمان پاسخگویی و کنترل دما، عوامل کلیدی در این فرآیند هستند. یکنواختی دما در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند؛ بنابراین فرآیندهای پخت نرم و سخت، در هر بار تولید، یکنواخت باقی می‌مانند. این هیتر در اتاق‌های تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ کار می‌کند؛ زیرا ساختار آن به گونه‌ای است که هیچ ذره‌ای تولید نشود؛ هیچ گونه آلودگی یا تغییر دما وجود ندارد. قابلیت اطمینان این هیتر، به میزان زمان کاری آن بستگی دارد؛ قطعات مورد استفاده برای کار ۲۴/۷ انتخاب شده‌اند، و سیستم حرارتی نیز دمای مورد نظر را بدون تغییر حفظ می‌کند.</p>