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		<title>Inspection on Warm IR Heating Rays</title>
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				<title>Chauffage de l outil d inspection des semi conducteurs</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://warm-ir-heater-ray.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png&#34; alt=&#34;Chauffage de l outil d inspection des semi conducteurs&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Sur le plancher de production, vous savez comment cela se passe : un décalage de 0,5°C à l’étape d’inspection déplace le profil du photoresist, modifie le biais CD, et soudainement vous faites face à un lot nécessitant une retouche. La chaleur ne peut pas être une &lt;a href=&#34;https://o-yate.com&#34;&gt;variable&lt;/a&gt; incontrôlable. Elle doit se comporter comme un paramètre de procédé maîtrisé.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;h2 id=&#34;ce-qui-compte-en-interne&#34;&gt;Ce qui compte en interne&lt;/h2&gt;&#xA;&lt;p&gt;Nous avons conçu le chauffage de l’outil d’inspection autour d’une uniformité en régime permanent de ±0,1°C sur toute la surface de la platine, obtenue grâce à une conception à &lt;a href=&#34;https://goldisgood.com&#34;&gt;faible&lt;/a&gt; masse thermique réactive. Des éléments chauffants en quartz ou en céramique sont associés à une boucle PID réglée pour un temps de stabilisation inférieur à la seconde, de sorte que les changements de consigne soient suivis précisément, sans dépassement.&lt;/p&gt;</description>
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