कोटर डेवलपर इन्फ्रारेड हीटर

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, तापमान संबंधी उतार-चढ़ावों से बचना असंभव है। यदि तापमान में थोड़ा भी अंतर आ जाए, तो इसका प्रभाव वेफर के आयामों पर पड़ता है।...