परिचय आइए, उस स्थिति के बारे में जानते हैं, जब MEMS सेंसर वेफरों को सुखाने हेतु उपयोग में आने वाली मशीनें अत्यधिक गर्मी पैदा करने लगती हैं। ऐसी...

फैब्रिकेशन फ्लोर पर, ड्रायिंग चैम्बर में 1°C से भी कम का तापमान-परिवर्तन ही पूरे उत्पादन-बैच को बर्बाद करने के लिए पर्याप्त है। वेफरों में अभी भी...