http://warm-ir-heater-ray.com/id/tags/modul/ Recent content in Modul on Warm IR Heating Rays Hugo id Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/id/posts/zoned-infrared-heating-module/ Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/id/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Modul pemanas inframerah berbasis zona"></p> <p>Di area litografi, proses pemanasan jenis “soft bake” dan “hard bake” bukan sekadar langkah termal biasa. Proses ini sebenarnya merupakan langkah-langkah penting untuk mengontrol dimensi komponen-komponen yang ada di permukaan wafer. Perubahan suhu sebesar 2°C saja sudah dapat mempengaruhi dimensi-dimensi <a href="https://o-yate.com">kritis</a> tersebut. Selain itu, partikel-partikel yang terbentuk di zona panas dapat merusak banyak komponen. Oleh karena itu, kami menciptakan modul pemanas inframerah yang mampu mengendalikan suhu di area yang penting, tanpa menimbulkan kontaminasi.</p> <p>Modul ini menggunakan pemancar inframerah berpanjang gelombang pendek, yang disusun dalam zona-zona yang dikendalikan secara independen, sesuai dengan geometri wafer. Di seluruh permukaan wafer, tingkat <a href="https://goldisgood.com">keseragaman</a> suhu mencapai ±0,1°C, sedangkan tingkat repetibilitas suhu antar batch adalah ±0,2°C. Zona panas tetap bersih, karena digunakan bahan kuarsa dan reflektor yang <a href="https://o-yate.net">minim</a> mengeluarkan gas. Desainnya juga mencegah munculnya partikel selama proses berlangsung. Di ruang bersih kelas 1–100, modul ini mampu menjaga profil pemanasan yang stabil, tanpa peningkatan jumlah partikel. Hal ini juga membantu mengurangi variasi ketebalan lapisan fotoresist, sehingga mengurangi kebutuhan untuk melakukan perbaikan ulang.</p>