センサー on Warm IR Heating Rays

ウェーハ用高精度IRセンサー

Mon, 27 Jul 2026 16:49:23 +0800

悪いランプが原因で、生産された製品全体がダメになるのを防ぎましょう。
大量生産の現場では、1つのランプが故障するだけでも大変ですが、それはまさに悪夢です。
石英製のケースが壊れると、熱源を失うだけでなく、破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。一度壊れると、生産した製品全てが廃棄処分になってしまいます。これは本当に痛手です。
私たちは、そのような事態を防ぐためにIRランプを設計しています。

ウェーハ処理装置用温度センサー

Mon, 27 Jul 2026 16:42:24 +0800

なぜ、無鉛半導体の硬化処理に赤外線を使用するのか？最近では、ウェーハ処理用の装置を設計するのはかなり面倒です。新しい無鉛化や環境配慮型の規制が多くあり、乾燥や硬化の過程で大きなプレッシャーがかかっています。多くの人々は依然として昔ながらの対流式オーブンを使っていますが、それは実際には部屋全体を温める巨大なヒーターに過ぎません。これはエネルギーの無駄遣いであり、正直、基板上に汚染物質が付着する原因にもなります。

水素センサー製造用ヒーター

Wed, 22 Jul 2026 02:11:45 +0800

ウェーハを清潔に保つために：IRヒーターの真実
水素センサーを製造する際、その赤外線ランプが重要な役割を果たします。しかし、大量生産を行っている場合、私たち全員が恐れている最悪の事態が起こり得ます。
それは、単にランプが故障するだけではありません。実際には、石英管が破裂してしまうのです。そうなると大変な事態になります。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度破裂すると、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。
ここでの敵は熱です。
処理能力を高めるために、これらのランプを限界まで使います。その結果、フィラメントとガラスの間に大きな温度差が生じます。ガラスが不均等に膨張し、微細なひび割れが生じ、そして、わずかなひび割れがあれば、全体が壊れてしまいます。
そこで、私たちは解決策を見つけました。IRエミッターの周りに保護用のケースを取り付けました。これはまるで安全シールドのようなものです。もし内部のランプが壊れても、このケースがすべてを受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハは無傷のままです。
このケースには高純度の合成石英が使用されているため、IR光が通過しつつも、クリーンルーム内に有害な金属不純物が入ることはありません。また、ランプの取り付けには「フローティンググリップ」を使用しています。これにより、ランプが拡張でき、筐体によって圧迫されることがありません。
ただし、一点注意点があります。このような追加の石英層を加えると、放射効率がわずかに低下します。直接のエネルギーの100％を得ることはできません。そのため、出力設定を調整したり、ウェーハを少し長く置いてから目標温度に到達させる必要があります。
でも正直、それは払う価値のある代償です。汚染されたウェーハが山積みになるのを見るよりはずっと良いです。
最後に一つアドバイス：これらの装置には正確なPID制御システムを組み合わせてください。温度の上昇を防げば、ランプの寿命も大幅に延び、頻繁に交換する必要もなくなります。

スマートセンサーパッケージング赤外線

Sat, 18 Jul 2026 01:50:27 +0800

なぜ、鉛フリーチップの硬化処理に赤外線を使用するのか
半導体業界は、ついに鉛を含むはんだや、有害な溶剤を使った乾燥方法を捨てようとしています。それは当然の流れです。しかし、問題は、ウェーハが損傷したり、過度な電力消費によって問題が生じないように、正確な温度を維持する必要があることです。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Thu, 09 Jul 2026 14:53:33 +0800