http://warm-ir-heater-ray.com/ja/tags/%E3%82%BE%E3%83%BC%E3%83%B3%E5%88%86%E3%81%91%E3%81%95%E3%82%8C%E3%81%A6%E3%81%84%E3%82%8B/ Recent content in ゾーン分けされている on Warm IR Heating Rays Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/zoned-infrared-heating-module/ Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ゾーン制御型赤外線ヒーターモジュール"></p> <p>リソグラフィーの工程において、ソフトベイクやハードベイクというのは単なる加熱処理ではありません。それらは、ウエハの寸法を制御するための重要な工程なのです。ウエハの温度が2℃変動するだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、ホットゾーンで発生した微粒子が、多くの製品を損傷させる可能性があります。そこで、<a href="https://henruite.com">汚染</a>を引き起こすことなく、重要な部分のみを適切に加熱できるゾーン別の赤外線ヒーターモジュールを開発しました。</p>