ゾーン制御型赤外線ヒーターモジュール

リソグラフィーの工程において、ソフトベイクやハードベイクというのは単なる加熱処理ではありません。それらは、ウエハの寸法を制御するための重要な工程なのです。ウエハの温度が2℃変動するだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、ホットゾーンで発生した微粒子が、多くの製品を損傷させる可能性があります。...