http://warm-ir-heater-ray.com/ja/tags/%E3%83%AB%E3%83%93%E3%83%BC/ Recent content in ルビー on Warm IR Heating Rays Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 13:06:00 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/ruby-infrared-heating-bulb-230v/ Tue, 23 Jun 2026 13:06:00 +0800 http://warm-ir-heater-ray.com/ja/posts/ruby-infrared-heating-bulb-230v/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ray.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ルビー赤外線ヒーターバルブ 230V"></p> <p>リソグラフィーの工程において、フォトレジストのソフトベイク時に2℃もの温度変動があるというのは、単なる許容範囲を超えたものです。それは、<a href="https://henruite.com">製品</a>の品質が低下する原因となります。ウェーハが溜まり、スケジュールが乱れ、熱制御が不安定になると、粒子数も増加してしまいます。私たちは、プロセスの要件を満たすために、230Vで動作するルビーアインフラレッドヒーターを開発しました。これにより、シフトごとに温度を安定させることができます。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> ルビーアインフラレッドヒーターは、迅速な反応速度と正確なスペクトル制御を備えています。230Vで動作するため、配線や降圧トランスを変更する必要はありません。アクティブゾーン全体でのウェーハ表面の温度均一性は±0.1℃以内であり、サイクル間の再現性も±0.5℃以内です。石英製のケースとルビーのドーピング処理により、ガス放出が抑制され、粒子の発生も少なくなります。その結果、クリーンルームのクラス1～100でも問題なく使用できます。実際、5,000時間以上連続して使用しても、出力の低下は5％未満です。また、フィラメントの形状も、熱サイクルに対して安定した抵抗値を維持するように設計されています。</p>