乾燥 on Warm IR Heating Rays

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Thu, 09 Jul 2026 14:53:33 +0800

##はじめに
MEMSセンサーワイヤーの乾燥工程がフル稼働しているときに何が起こるかを考えてみましょう。温度が極限まで上昇し、システムは限界に迫ります。
最悪の事態としては、赤外線ランプが破損してしまうことです。単に故障するだけでなく、激しく破裂してしまい、その破片が良好な状態のワイヤーに飛び散ってしまいます。これは大変な被害です。
私たちは、そのような悲惨な事態を防ぐためにこの赤外線ヒーターを開発しました。これは、迅速な乾燥に必要な強力で集中した熱を供給しつつ、そのような致命的な故障のリスクを避けるように設計されています。

製造工程における乾燥部門のエネルギー診断

Fri, 03 Jul 2026 03:16:47 +0800

長い間、製造現場で働けば、些細なことにも注意を払うようになります。ウェーハの乾燥処理にかかるエネルギーは、スプレッドシートに示されている数値よりも多くなることがあります。また、熱変動によってフォトレジストの品質が損なわれることもあります。私たちはこれらの問題を頻繁に目にします。ソフトベイクやハードベイクの条件が変動したり、溶剤の除去が不安定になったり、サイクルごとに粒子数が増加したりします。その結果、廃棄物が増えたり、再作業が必要になったり、無駄なエネルギーが消費されたりします。

工業用ウェーハ乾燥システム用ヒーター

Thu, 02 Jul 2026 03:16:43 +0800

製造現場においては、乾燥室の温度が1℃以下変動しても、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハは清浄室から出てくるときにも微量の水分を含んでおり、次の工程であるソフトベイクやハードベイク、エッジビーズの除去などでは、温度の変動に耐える余裕がありません。私たちが開発した産業用ウェーハ乾燥システムのヒーターは、この現実に対処するために設計されており、事後的に対応するのではありません。

ウェーハ乾燥における赤外線と対流の比較

Thu, 18 Jun 2026 01:10:07 +0800

300mmラインでは、計画外の停止や粒子の発生が大きな問題となります。長年にわたり対流式オーブンが乾燥や焼成の役割を果たしてきましたが、その速度は遅く、温度のばらつきも生じやすく、また空気の流れによって粒子が舞い上がり、製品の品質が低下することもあります。プロセスの時間や温度が秒単位で管理される中で、赤外線技術は迅速で直接的かつクリーンな加熱を実現します。

技術的に重要なのは、熱がどのように伝わるかという点です。赤外線乾燥では、短波または中波の放射体を使用してウェハ表面に直接熱を与えるため、迅速かつ均一な加熱が可能です。これにより、ウェハ全体で±0.1℃以内の均一性が保たれ、繰り返し行っても同じ結果が得られます。また、ドアを開けた後でも数秒以内に温度が回復します。循環ファンがないため、クリーンルームのクラス1～100を実現でき、光学路も密閉されているため、粒子の発生もほぼゼロに抑えられます。エネルギー消費も減少し、エネルギーはウェハに直接使われ、チャンバーの壁や空気には使われません。