加熱 on Warm IR Heating Rays

交換用ヒーター素子 IP65

Sun, 26 Jul 2026 13:15:23 +0800

湿気が赤外線ヒーターを壊すのを防ぎましょう。
もし、赤外線ヒーターのフィラメントが早期に破損したり燃え尽きたりする経験があるなら、その苦労はよくわかるでしょう。通常、問題の原因はヒーター自体ではなく、環境にあります。
実際、水分やほこりは石英管にとって最悪の敵です。わずかな水滴や油分が高温の管に当たると、「熱衝撃」が発生します。これは目に見えないものですが、ガラスに微細なひび割れを生じさせます。やがて、そのひび割れが大きくなり、フィラメントが破損してしまいます。
だからこそ、私たちはIP65等級のケースを使用しています。これにより、ヒーターの内部を乾燥させ、清潔に保つことができます。

省エネ型半導体ヒーター

Sat, 25 Jul 2026 02:37:14 +0800

ヒーターが爆発しないようにするための対策
私たちは、極度の高温環境で使用される半導体ヒーターを製造しています。これは非常に過酷な環境です。こうした環境下では、わずかな絶縁不良でも大問題に繋がります。一度だけ漏れが発生すれば、制御ボード全体が破壊されたり、ウェーハが数秒でダメになってしまう可能性があります。
だからこそ、私たちは何も推測せず、製造される各ヒーターを出荷する前に、100％の耐電圧試験および絶縁抵抗試験を行います。

ゾーン制御型赤外線ヒーターモジュール

Fri, 26 Jun 2026 01:28:32 +0800

リソグラフィーの工程において、ソフトベイクやハードベイクというのは単なる加熱処理ではありません。それらは、ウエハの寸法を制御するための重要な工程なのです。ウエハの温度が2℃変動するだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、ホットゾーンで発生した微粒子が、多くの製品を損傷させる可能性があります。そこで、汚染を引き起こすことなく、重要な部分のみを適切に加熱できるゾーン別の赤外線ヒーターモジュールを開発しました。

ルビー赤外線ヒーターバルブ 230V

Tue, 23 Jun 2026 13:06:00 +0800

リソグラフィーの工程において、フォトレジストのソフトベイク時に2℃もの温度変動があるというのは、単なる許容範囲を超えたものです。それは、製品の品質が低下する原因となります。ウェーハが溜まり、スケジュールが乱れ、熱制御が不安定になると、粒子数も増加してしまいます。私たちは、プロセスの要件を満たすために、230Vで動作するルビーアインフラレッドヒーターを開発しました。これにより、シフトごとに温度を安定させることができます。

技術的に重要な点 ルビーアインフラレッドヒーターは、迅速な反応速度と正確なスペクトル制御を備えています。230Vで動作するため、配線や降圧トランスを変更する必要はありません。アクティブゾーン全体でのウェーハ表面の温度均一性は±0.1℃以内であり、サイクル間の再現性も±0.5℃以内です。石英製のケースとルビーのドーピング処理により、ガス放出が抑制され、粒子の発生も少なくなります。その結果、クリーンルームのクラス1～100でも問題なく使用できます。実際、5,000時間以上連続して使用しても、出力の低下は5％未満です。また、フィラメントの形状も、熱サイクルに対して安定した抵抗値を維持するように設計されています。